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KAKUHUNTER寫真化學測繪測量膜厚儀

來源：池田屋實業（深圳）有限公司   2024年11月14日 10:51  

KAKUHUNTER寫真化學測繪測量膜厚儀

KAKUHUNTER寫真化學測繪測量膜厚儀


特征

測繪膜厚儀能夠對最大300mm的晶圓整個表面進行自動測繪膜厚測量。自動對準功能和高度平坦的晶圓吸盤可實現高度可靠的膜厚測量。 另外，通過設置在半導體制造裝置的裝載口，可以在保持清潔度的同時管理制造裝置上的膜厚。


    • 1

    • 可對最大 300mm 的晶圓進行全表面自動薄膜厚度測繪測量


    • 2

    • 自動對位功能


    • 通過自動檢測缺口和定向平面位置以及自動檢測晶圓偏心，實現高精度測量。

    • 3

    • 通過使用具有高平坦度的晶圓卡盤，提高了晶圓平面內的測量可靠性


    • 4

    • 可以根據應用選擇三種類型的光源


    • 5

    • 透明蓋使測量過程中的運動一目了然


    • 6

    • 一體化設計節省空間


  • 測量數據示例（2D膜厚分布）
    貼合晶圓的硅厚度（nm）

     

  • 測量數據示例（3D膜厚分布）
    貼合晶圓的硅厚度（nm）

     

  • 測量數據示例（膜厚頻率分布）
    貼合晶圓的硅厚度

      

  • 測量數據示例（多個晶圓的膜厚分布箱線圖）
    5個晶圓的膜厚分布趨勢

     


  • 我想輕松測量透明多層薄膜每一層的厚度。

  • 我想自動測量多個點的薄膜厚度。

  • 我想以10μm以下的高分辨率研究膜厚分布。

  • 我想測量半透明板的厚度。


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