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光學3D表面輪廓儀:滿足多元超精密微觀尺寸測量需求

來源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2024年11月04日 09:29  

光學 3D 表面輪廓儀采用先進的光學原理和精密的測量技術,能夠對物體表面進行非接觸式的三維測量。與傳統的測量方法相比,它具有諸多優勢。首先,非接觸式測量避免了對被測物體的損傷,尤其對于一些精密的、易損的材料和工件,能夠在不影響其性能的前提下進行準確測量。其次,高分辨率的測量能力可以捕捉到物體表面微小的細節,無論是納米級的微觀結構還是宏觀物體的復雜形貌,都能清晰呈現。再者,快速的測量速度使得它能夠在短時間內完成大量數據的采集,提高了工作效率。


SuperViewW 系列光學 3D 表面輪廓儀,涵蓋了多種不同類型的產品,滿足了不同客戶的多樣化需求。無論是追求高精度測量的科研機構,還是需要測量大尺寸工件的工業企業,都能在這個系列中找到適合自己的解決方案。


高精度:精準捕捉每一個細節

在高精度測量要求的應用場景中,高精度光學 3D 表面輪廓儀采用先進的白光干涉技術,能夠精確地捕捉物體表面的微小細節,為科研人員和工程師們提供了可靠的數據支持。如在材料科學領域,通過高精度光學 3D 表面輪廓儀對新型納米材料進行表面形貌研究,可以精準測量出納米材料表面的高度信息、粗糙度等關鍵數據,為進一步優化材料性能提供了重要依據。其精度之高,可達到納米級別。


大尺寸測量:輕松應對大型工件

在需要測量大尺寸工件時,SuperViewW 系列同樣有相應的產品可供選擇。這些大尺寸測量儀器具備廣闊的測量范圍和穩定的性能,能夠輕松應對各種大型工件的測量任務。

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WX-S1000,升級版超大行程光學3D表面輪廓儀(龍門結構,超大行程,氣浮隔振,穩如泰山),2D表面測量/3D立體重建一鍵全自動測量,高精度微納尺寸形貌檢測利器。


多種產品滿足各種特殊需求

除了高精度和大尺寸測量的產品外,SuperViewW 系列還包括了多種不同功能和規格的光學 3D 表面輪廓儀,以滿足不同行業和應用場景的特殊需求。有的產品具備快速測量功能,能夠在短時間內完成大量樣品的測量任務,提高生產效率;有的產品則具有便攜性,方便用戶在現場進行測量,為戶外作業和緊急情況提供了便利。

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白光干涉測頭具有體積小、重量輕、便攜的特點,能夠方便地搭載在各種具備XY水平位移架構的平臺上,在產線上對器件表面進行自動化形式的測量,直接獲取與表面質量相關的粗糙度、輪廓尺寸等2D/3D參數。


在科研領域,科學家們可以利用光學 3D 表面輪廓儀來分析各種新型材料的表面特性,如粗糙度、紋理、高度分布等,從而深入了解材料的性能和潛在應用;

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在半導體行業,對芯片表面的高精度測量至關重要。光學 3D 表面輪廓儀能夠精確測量芯片的微觀結構,確保芯片的質量和性能符合嚴格的標準;

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在機械制造領域,它可以用于檢測零部件的表面質量,為加工工藝的優化提供依據;

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例如,光學 3D 表面輪廓儀通過納米傳動與掃描技術、白光干涉與高精度3D重建技術實現0.1nm級表面粗糙度測量,在光通信行業中輕松實現針對光纖端面粗糙度的測量。

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光纖端面測量場景及3D圖像

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