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成分分析

01 光刻膠成分分析

‌光刻膠主要由感光樹脂、感光劑、溶劑、添加劑等成分組成, 具體成分會根據(jù)不同的配方而有所不同。如‌紫外負性膠的主要成分包括環(huán)化聚異戊二烯橡膠、2,6- 雙（4'- 疊氮亞芐基）-4- 甲基環(huán)己酮、甲苯等芳香烴溶劑以及必要的添加劑。‌紫外正性光刻膠的核心成分包括甲酚醛樹脂、重氮萘醌磺酸酯類光敏劑、溶劑和增感劑、增韌劑和附著力促進劑等添加劑。

02 單體與端基研究

樹脂是光刻膠生產中最難突破的環(huán)節(jié)，其發(fā)生聚合的順序直接影響到光刻的性能。特別一些高端光刻膠，如 ArF 光刻膠中所含的樹脂單體不止一種，而是 2-3 種單體共聚而成。對于樹脂組成單體的研究及端基的類型等信息，可以通過裂解樹脂聚合物產生的單體及基團被 GCMS 儀器檢測與數(shù)據(jù)解析獲得。

03 雜質定性分析

光刻膠配方產品中雜質定性，是生產先進制程光刻膠產品的重要考量因素，對雜質的準確定性，能夠快速而有效的指導和改進生產工藝和流程。作為合成過程中的產物，往往這些雜質成分都是一些未知物，即無法通過譜庫檢索得到。然而，通過 GC/Q-TOF 高分辨質譜能夠獲得很好的定性結果。

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質量控制

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配方解析

01 快速分析成分：無需對光刻膠樣品進行前處理，可直接進樣分析獲得樣品中多種成分。

02 出色的分離度與穩(wěn)定性：基于氣相色譜出色的分離能力和質譜 EI 離子源穩(wěn)定的電離能力，能夠獲得清晰、穩(wěn)定、重現(xiàn)性較好的樣品譜圖結果，便于做樣品間的差異比較。

03 樹脂單體分析：裂解的方式對于樹脂單體類型的分析具有較好的效果。

04 樹脂聚合物溫度屬性研究：逸出氣體分析（EGA）裂解曲線，考察連續(xù)溫度變化對樹脂樣品穩(wěn)定形態(tài)的影響。