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Heidolph旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀如何賦能半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展？

來源：海道爾夫儀器設(shè)備（上海）有限公司 2024年10月09日 09:20

半導(dǎo)體行業(yè)是一個高度技術(shù)密集型的產(chǎn)業(yè)，其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于各個高科技領(lǐng)域，不僅限于計算機、通信設(shè)備、照明、電子產(chǎn)品、工業(yè)控制、軍事系統(tǒng)，在儀器以及醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域更是發(fā)揮著重要的作用，特別是在需要高精度、快速響應(yīng)和穩(wěn)定性方面。

Heidolph旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀如何賦能半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展？

Professor Hei

在半導(dǎo)體行業(yè)中，旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀在以下幾個方面發(fā)揮著重要作用：

溶劑回收

在半導(dǎo)體制造過程中，經(jīng)常使用各種溶劑進行清洗、蝕刻等步驟。這些溶劑可以通過旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀回收再利用，減少成本并降低環(huán)境污染。

前驅(qū)體溶液制備

制備用于化學(xué)氣相沉積（CVD）、原子層沉積（ALD）等工藝中的前驅(qū)體溶液時，需要精確控制溶劑的比例。旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀可以用來濃縮或調(diào)整溶液的濃度。

表面處理

對半導(dǎo)體材料進行表面處理時，可能會用到含有特定溶劑的溶液。旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀可以幫助去除這些溶劑，留下純凈的處理層。

研發(fā)實驗

通過對半導(dǎo)體材料、工藝和使用技術(shù)的探索和改進，對人類生活、醫(yī)療生活、工業(yè)方面都有著深遠的影響。在研發(fā)新的半導(dǎo)體材料或工藝時，旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀可以作為一種通用的溶劑處理設(shè)備，幫助研究人員進行樣品制備、純化等工作。

半導(dǎo)體行業(yè)的制造以及處理工藝對清潔度要求高，使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀時必須確保設(shè)備本身的潔凈度，避免引入任何雜質(zhì)影響最終產(chǎn)品的性能。因此需要定期進行儀器的清潔與維護，使用前需要清潔所有玻璃件和金屬部件，使用適合的溶劑（如丙酮、異丙醇）去除油脂和殘留物，清潔后，使用高純度的溶劑沖洗，必要時進行干燥處理。

使用高品質(zhì)溶劑，確保所用溶劑的純度符合半導(dǎo)體級要求，避免因溶劑自身含有的雜質(zhì)而污染樣品；另外，需要在潔凈室或超凈工作臺中使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀，以減少空氣中顆粒物和微生物的污染，控制操作區(qū)域的溫度和濕度，避免冷凝水的形成，減少微生物生長的可能性。此外，對于一些特殊溶劑或者敏感材料的操作，還需要特別注意操作條件的選擇，比如溫度、壓力等參數(shù)的設(shè)置。

因此盡可能使用滿足半導(dǎo)體行業(yè)要求的旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀，更高的清潔度、更強的密封性和更好的耐腐蝕性可以保證最終產(chǎn)品的性能及可靠性。

Heidolph旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀所配置的密封圈由高抗腐蝕性PTFE-FKM所制成，結(jié)合了聚四氟乙烯（PTFE）和氟橡膠（FKM）的優(yōu)點，能夠確保設(shè)備在苛刻的實驗室條件下保持良好的性能和持久的密封能力，提供了可靠的密封解決方案。

Heidolph PTFE-FKM密封圈的主要優(yōu)勢：

耐化學(xué)性和耐老化性

PTFE的耐化學(xué)性強，可以抵抗多種化學(xué)品的侵蝕。FKM同樣具有良好的耐化學(xué)性，尤其對于油類、燃料和某些溶劑具有很好的抵抗力。同時，F(xiàn)KM具有較高的機械強度和耐磨性，能夠承受一定的壓力和磨損，在長時間投入使用后仍能保持良好的性能。

耐溫范圍廣

PTFE具有廣泛的耐溫范圍，可以在低溫至高溫下保持其性能。FKM也可以在較寬的溫度范圍內(nèi)保持良好的彈性。