手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
sem掃描電鏡的分辨率是由多個(gè)因素決定的，包括電子束的大小、電子束的能量、樣品的導(dǎo)電性、樣品的厚度、樣品的表面粗糙度等。
首先，電子束的大小是影響sem掃描電鏡分辨率的重要因素。電子束越小，分辨率越高。電子束的大小主要由電子槍的類型和設(shè)計(jì)決定。目前常用的電子槍有熱發(fā)射電子槍和場發(fā)射電子槍。熱發(fā)射電子槍的分辨率一般在微米級別，而場發(fā)射電子槍的分辨率可以達(dá)到納米級別。
其次，電子束的能量也會(huì)影響分辨率。電子束的能量越高，其波長越短，理論上分辨率就越高。但是，過高的能量會(huì)導(dǎo)致樣品的損傷，因此需要根據(jù)樣品的性質(zhì)選擇合適的能量。
再次，樣品的導(dǎo)電性也會(huì)影響分辨率。如果樣品的導(dǎo)電性差，電子束在樣品表面的散射會(huì)增加，從而降低分辨率。為了提高非導(dǎo)電樣品的分辨率，通常需要在樣品表面鍍上一層導(dǎo)電膜。
此外，樣品的厚度也會(huì)影響分辨率。如果樣品過厚，電子束在樣品內(nèi)部的散射會(huì)增加，從而降低分辨率。因此，對于厚的樣品，通常需要通過切割或者研磨的方式減小其厚度。
最后，樣品的表面粗糙度也會(huì)影響分辨率。如果樣品表面過于粗糙，電子束在樣品表面的散射會(huì)增加，從而降低分辨率。因此，對于粗糙的樣品，通常需要通過拋光的方式減小其表面粗糙度。
總的來說，sem掃描電鏡的分辨率是由電子束的大小、電子束的能量、樣品的導(dǎo)電性、樣品的厚度、樣品的表面粗糙度等多個(gè)因素共同決定的。在實(shí)際使用中，需要根據(jù)樣品的性質(zhì)和觀察需求，合理選擇和調(diào)整這些參數(shù)，以獲得最佳的分辨率。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心