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fei掃描透射電子顯微鏡結(jié)合了掃描電子顯微鏡(SEM)和透射電子顯微鏡(TEM)的原理，聚焦的電子束掃描過(guò)薄樣品，并通過(guò)樣品下方的探測(cè)器來(lái)收集透過(guò)樣品的電子。由于電子與樣品相互作用，部分電子會(huì)被散射，而探測(cè)器接收到的是未被散射的透射電子。
以下是fei掃描透射電子顯微鏡的基本工作原理：
1、電子槍發(fā)射電子：使用電子槍產(chǎn)生高速電子束。這些電子被加速到高能量狀態(tài)，以便它們能夠穿透非常薄的樣品。
2、電子束聚焦：通過(guò)一系列的電磁透鏡系統(tǒng)，將電子束聚焦成非常細(xì)小的探針。這個(gè)細(xì)小的探針隨后用于掃描樣品。
3、掃描樣品：聚焦的電子束在樣品上進(jìn)行逐點(diǎn)掃描。這通常是通過(guò)偏轉(zhuǎn)線圈來(lái)實(shí)現(xiàn)的，它能夠在樣品表面快速移動(dòng)電子束。
4、信號(hào)收集：探測(cè)器放置在樣品下方，用于收集透過(guò)樣品的電子。這些探測(cè)器可以是環(huán)形的或半環(huán)形的，能夠檢測(cè)不同角度散射的電子。
5、成像與對(duì)比度：圖像的對(duì)比度主要來(lái)自于電子在穿過(guò)樣品時(shí)發(fā)生的散射。較厚的區(qū)域或原子序數(shù)較高的區(qū)域會(huì)散射更多的電子，因此在探測(cè)器上形成的信號(hào)較弱，顯示為圖像中的暗區(qū)。相反，較薄的區(qū)域或原子序數(shù)較低的區(qū)域散射較少的電子，顯示為圖像中的亮區(qū)。
6、圖像重建：探測(cè)器收集到的信號(hào)被轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，隨后由計(jì)算機(jī)處理以重建出樣品的高分辨率圖像。
7、數(shù)據(jù)分析：最終得到的圖像可以用來(lái)分析樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)、組成以及材料的微觀性質(zhì)。例如，常用于研究納米材料、催化劑、半導(dǎo)體器件等的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和成分分布。
fei掃描透射電子顯微鏡的一個(gè)顯著優(yōu)點(diǎn)是它能夠在原子級(jí)別上提供高對(duì)比度的圖像，尤其是當(dāng)配備有高角度環(huán)形暗場(chǎng)探測(cè)器時(shí)。這種探測(cè)器只收集那些經(jīng)過(guò)大角度散射的電子，從而使得重元素在圖像中更為突出，便于觀察和分析。
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