聚焦離子束電鏡是將液態金屬離子源產生的離子束經過離子槍加速,聚焦后照射于樣品表面產生二次電子信號取得電子像。具有使用方便,產品質量穩定,分析高效等特點。具有特殊的樣品制備和三維成像能力,廣泛應用于材料科學、納米技術、生命科學等領域。
聚焦離子束電鏡的主要應用:
1.定點剖面形貌和成分表征:通過精確控制離子束的位置和能量,可以實現對樣品特定區域的精確切割和分析。
2.TEM樣品的制備:該產品是制備超薄樣品截面的理想選擇,為透射電子顯微鏡(TEM)分析提供高質量的樣品。
3.微納結構的處理:利用離子束的刻蝕功能,可以在納米尺度上直接“雕刻”微觀結構,如量子點、納米線和微流體器件等。
4.芯片線路的重構和修復:聚焦離子束電鏡允許對芯片進行局部修改,包括連接路徑的切斷和重建,是電路設計驗證和故障分析的重要工具。
聚焦離子束電鏡作為一種強大的分析工具,為納米尺度的材料加工和分析提供了重要支持,推動了材料科學、電子工程和納米技術等領域的快速發展。
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