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皮拉尼真空計的應用

來源:深圳市京都玉崎電子有限公司   2024年05月24日 11:01  

皮拉尼真空計用于需要真空達到控制的腔室、連接到石英管的流體回路以及需要表面清潔度的地方。具體來說,它常用于中真空區域的測量。

中真空區域是使用油回轉真空泵可以達到的真空狀態,例如測量碳氟化合物氣體的吸入量時。皮拉尼真空計常用于高真空至超高真空抽氣系統的粗抽生產線以及高真空泵的背壓生產線。

然而,顯示值根據氣體的類型和成分而變化,因此需要提前進行充分的校準來測量絕對壓力。皮拉尼真空計還用于在物理和化學實驗、真空蒸發、冷凍干燥、醫療設備、分析儀、激光應用設備、真空排氣設備、半導體制造設備的等離子蝕刻空間以及電子顯微鏡的真空包中創造真空條件


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