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適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。
不僅可以安裝在新裝置上，而且從當(dāng)前使用的UV燈光源更換也很方便。
通過搭載UV-LED，可降低耗電量、降低環(huán)境負(fù)荷、延長發(fā)光源壽命，并且不需要機(jī)械相關(guān)的消耗部件，從而大大降低客戶的運(yùn)行成本
| 紫外線発光源 | 紫外發(fā)光二極管 |
| 紫外線発光源壽命 | 20000小時(shí)（推定壽命驅(qū)動(dòng)電流最大時(shí)）※紫外線強(qiáng)度為初期50%以上的點(diǎn)燈累計(jì)時(shí)間 |
| 照射ON/OFF功能 | UV-LED的ON/OFF控制（通過遠(yuǎn)程及手動(dòng)控制點(diǎn)亮/熄滅） |
| 光量調(diào)整機(jī)能 | UV-LED的電流調(diào)整光量調(diào)整范圍為20～100% |
| 外裝材質(zhì) | 不銹鋼 |
| 外形寸法 | 150毫米×200毫米×192毫米 |
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