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MOOG伺服閥廣泛應用于電廠油動機控制中，下面依次從結構和現象兩方面對伺服閥的可能故障模式進行簡要的匯總。
一、從結構角度進行分析
1、力矩馬達部分
a.線圈斷線：引起閥不動，無電流。
b.銜鐵卡住或受到限位：原因是工作氣隙內有雜物，引起閥門不動作。
c.球頭磨損或脫落：原因是磨損，引起MOOG伺服閥性能下降，不穩定，頻繁調整。
d.緊固件松動：原因是振動，固定螺絲松動等，引起零偏增大。
e.彈簧管疲勞：原因是疲勞，引起系統迅速失效，伺服閥逐漸產生振動，系統震蕩，嚴重的管路也振動。
f.反饋桿彎曲：疲勞或人為損壞，引起閥不能正常工作，零偏大，控制電流可能到最大。
2、噴嘴擋板部分
a.噴嘴或節流孔局部或全部堵塞：原因是油液污染。引起頻響下降，分辨率降低，嚴重的引起系統不穩定。
b.濾芯堵塞：原因是油液污染。引起頻響下降，分辨率降低嚴重的引起系統擺動。
3、滑閥放大器部分
a.刃邊磨損：原因是磨損，引起泄露，流體噪聲大，零偏大，系統不穩定。
b.徑向濾芯磨損：原因是磨損。引起泄露增大，零偏增大，增益下降。
c.滑閥卡滯：原因是油液污染，滑閥變形。引起波形失真，卡死。
4、其他部分
密封件老化：壽命已到或油液不符。引起閥內外滲油，可導致MOOG伺服閥堵塞。
二、從現象角度分析
1、閥不工作
原因有：馬達線圈斷線，脫焊；進油或進出油口接反；前置級堵塞，使得閥芯正好卡在中間死區位置，閥芯卡在中間位置幾率較少。馬達線圈串聯或并聯兩線圈接反，兩線圈形成的磁作用力正好抵消。
2、閥有一固定輸出，但已失控
原因：前置級噴嘴堵死，閥芯被異物卡澀及閥體變形引起閥芯卡死等，或內部保護濾器被贓物堵塞。要更換濾芯，返廠清洗、修復。
3、閥反應遲鈍、響應變慢等
原因：系統供油壓力降低，保護濾器局部堵塞，某些閥調零機構松動，及馬達零部件松動，或動圈閥的動圈跟控制閥芯間松動。系統中執行動力元件內漏過大等。此外油液太臟，閥分辨率變差，滯環增寬也是原因之一。
4、系統出現頻率較高的振動及噪聲
原因：油液中混入空氣量過大，油液過臟；系統增益過高；來自放大器方面電源噪音；MOOG伺服閥線圈與閥外殼及地線絕緣不好；顫振信號過大或與系統頻率關系引起的諧振現象；頻率相對低的系統而選了過高頻率的伺服閥。
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