傳統(tǒng)上，真空斷路器用戶判斷滅弧室真空度的方法是工頻耐壓法，這種方法只能粗略判斷真空度嚴重化的滅弧室。

真空度測試儀采用離子電荷來做標定。這樣，有效地抑制了測試過程中瞬態(tài)電源的干擾，使測試穩(wěn)定可靠。由于采用計算機為主控單元，真空度測試儀能很方便地扣除由于環(huán)境因素產生的漏電電流。

隨著中壓開關無油化浪潮的興起，真空開關以其優(yōu)點得到了廣泛的推廣和應用。這些年來，由于生產工藝和現(xiàn)場使用環(huán)境方面的原因，有些真空開關在運行過程中其真空滅弧室會有不同程度的泄漏，有的在正常壽命范圍內就可能泄漏到無法正常開斷的地步。真空開關真空度測試儀在這種情況下進行開斷就會出現(xiàn)不能正常開斷的現(xiàn)象而造成嚴重的后果。國內真空開關事故大多是由此原因引起。所以加強定期或不定期檢測真空開關真空度成了十分重要的環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)的檢測方法是"耐壓法"，即真空開關處于開斷狀態(tài)下，在動靜觸頭之間施加一定的電壓，檢測其泄漏電流的大小，由此推斷真空管的好壞。這種方法的優(yōu)點是:操作簡單;缺點是:只能定性地檢測真空管的好壞;而且真空度在10~10Pa之間無法準確分辨，所以無法判斷泄漏的發(fā)展趨勢(即同一個真空開關和上次相比有多大程度的泄漏)。

真空開關真空度測試儀采用磁控放電法進行測量。將真空開關滅弧室的兩觸頭拉開一定的距離，施加電場脈沖高壓，將滅弧室置于螺線管圈內或將新型電磁線圈置于滅弧室外側，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內產生與高壓同步的脈沖磁場。這樣，在脈沖強磁場和強電場的作用下，滅弧室中的帶電離子作螺旋運動，并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離，所產生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關系。對于不同的真空管型號(管型)，由于其結構不同，在同等觸頭開距、同等真空度、同等電場與磁場的條件下，離子電流的大小也不相同。通過實驗可以標定出各種管型的真空度與離子電流間的對應關系曲線。當測知離子電流后，就可以通過查詢該管型的離子電流一真空度曲線獲得該管型的真空度。

在常規(guī)磁控放電測試滅弧室的真空度時，為了提高其測試靈敏度，需從斷路器上卸下滅弧室，并置于螺線管線管內。這樣一來，滅弧室在重新裝回斷路器時需要調整機械參數(shù)，真空度測試儀工作量很大并需專業(yè)人員。而使用新型磁控線圈可以從側面包圍滅弧室，這樣就不必拆卸滅弧室。而采用單片微機進行同步控制與數(shù)據(jù)采集處理，提高了滅弧室真空度的現(xiàn)場測試靈敏度。