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晶圓接觸角測(cè)量?jī)x是為晶圓表面加工質(zhì)量檢測(cè)而設(shè)計(jì)的光學(xué)接觸角測(cè)試儀,提供晶圓表面接觸角和表面能分析,以評(píng)估附著力、清潔度和涂層。
晶圓接觸角測(cè)量?jī)x采用CCD數(shù)字?jǐn)z像機(jī)，配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統(tǒng)，搭配三維樣品臺(tái)，可進(jìn)行工作臺(tái)上下、前后等方向移動(dòng)。實(shí)現(xiàn)微量進(jìn)樣及上下、左右精密移動(dòng)。同時(shí)還設(shè)計(jì)了伸縮桿結(jié)構(gòu)工作臺(tái)，能適應(yīng)在不同用戶材料厚度加大的場(chǎng)合。儀器框架可以根據(jù)式樣的大小適量調(diào)節(jié)，擴(kuò)大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能，測(cè)試多次后的結(jié)果可以同時(shí)保存在同一報(bào)告下，能讓用戶更好的對(duì)材料數(shù)據(jù)進(jìn)行管控。
晶圓接觸角測(cè)量?jī)x用于測(cè)量液體對(duì)固體的浸潤(rùn)性，通過(guò)測(cè)量液體對(duì)固體的接觸角，計(jì)算固體的表面自由能及液體的表面張力等指標(biāo)，該儀器可自動(dòng)測(cè)值和人工修整相結(jié)合，按測(cè)試→自動(dòng)拍照→查找敏感點(diǎn)→計(jì)算接觸角值→顯示計(jì)算結(jié)果，整個(gè)過(guò)程無(wú)須人工干預(yù)，以降低人為因素影響。可廣泛用于測(cè)試各種液體對(duì)各種固體材料的接觸角，即通過(guò)測(cè)量液體與固體間所形成接觸角的大小，判斷液體對(duì)固體的浸潤(rùn)性；也可測(cè)量和計(jì)算表面/界面張力、CMC、液滴形狀尺寸、表面自由能等。
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