傅里葉漫反射紅外光譜儀是一種基于反射模式的紅外光譜儀,它通過調節光斑來選區,選區面積較小,特別適用于bonding pad、Ball Land等光亮表面污染的分析。該儀器的基本原理是,當光波射向樣品時,一部分光被樣品吸收,一部分光通過樣品反射回來。傅里葉變換紅外光譜儀可以將反射回來的光信號轉化為紅外光譜圖,從而測量樣品的分子結構和化學鍵等信息。與透射紅外光譜儀相比,傅里葉漫反射紅外光譜儀適用于不同狀態的樣品,包括液體、固態、薄膜和粉末等,并且不需要扣除背景
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