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多功能顯微鏡助力一篇AFM!3D納米幾何結構新突破

來源:QUANTUM量子科學儀器貿易(北京)有限公司   2024年01月15日 13:28  

論文題目:
Spectral Tuning of Plasmonic Activity in 3D Nanostructures via High-Precision Nano-Printing
發表期刊:Advanced Functional Materials IF: 19.924
DOI: 10.1002/adfm.202310110

【引言】

       等離子體納米顆粒由于具有特殊的光學特性被廣泛應用于光電器件、化學和生物傳感器等領域。若想調節納米結構的等離子效應,則需要準確地制備出具有特定幾何形狀的3D納米結構。目前,等離子納米結構主要采用納米顆粒或納米顆粒陣列,通過納米狹縫自組裝法等手段,制備相應的等離子體納米結構。可是,在制備等離子體納米結構的過程中,由于受到了光刻等技術手段的限制,所制備的納米結構多為2D平面結構。對于制備具有準確幾何形狀的3D等離子體納米結構的相關研究尚屬空白。

【成果簡介】


       近日,格拉茨技術大學相關團隊提出了基于聚焦電子束誘導沉積(Focused Electron Beam Induced Deposition,FEBID)方法制備具有準確納米尺度3D幾何結構的等離子體納米結構。同時,作者通過FusionScope多功能顯微鏡和透射電鏡(TEM)對相應的3D納米結構進行了原位幾何尺寸的表征。然后,使用掃描透射電子顯微鏡的電子能量損失譜儀(STEM-EELS)對所制備的3D納米結構的等離子性能進行表征。所測量的結果與相關模擬計算結果相比,兩者結果相互吻合,證明了通過FEBID的方法制備3D等離子體納米結構的可行性。相關工作以《Spectral Tuning of Plasmonic Activity in 3D Nanostructures via High-Precision Nano-Printing》為題在SCI期刊《Advanced Functional Materials 》上發表。

       本文使用的FusionScope多功能顯微鏡創新性地將SEM和AFM技術深度融合,利用SEM進行實時、快速、精準導航AFM針尖,實現同一時間、同一樣品區域和相同條件下的SEM&AFM原位精準定位與測量;測量時也可以實時觀察AFM懸臂的尖丶端,在不需要轉移樣品的情況下原位進行80° AFM與樣品臺同時旋轉,對幾乎所有樣品(包括復雜樣品)均可以實現無視野盲區觀測;其豐富的功能選件如力曲線、導電原子力顯微鏡(C-AFM)和磁力顯微鏡(MFM)以及EDS能譜儀,可有效實現多維度同區域的高級測量。本文將簡要闡述FusionScope多功能顯微鏡對不同平面結構的等離子體樣品觀測結果。
 

圖1. FusionScope多功能顯微鏡

【圖文導讀】


圖2. 制備、清除和3D加工能力展示。(a)氣體注入系統(GIS)將金屬氣體前驅物分子(Me2(acac)Au(III))注入到基底附近,利用聚焦電子束形成在基底上形成沉積。(b-g)展示了FEBID制備復雜構型的3D納米結構的能力。(h)運用聚焦電子束去除碳的過程。


圖3. 不同平面結構的等離子體測量結果。(a)利用FusionScope多功能顯微鏡的原位AFM功能測量的在制備后和清除后的微納結構變化區別。(b)通過原位AFM測量的在去除前后所制備納米結構的體積變化。(c)部分去除樣品的STEM-EELS能譜。(d-l)不同設計下的等離子體測量結果。


圖4. 利用FusionScope多功能顯微鏡獲取用于模擬的數據。(a-b)利用FusionScope多功能顯微鏡中的SEM對AFM進行引導,在放置在TEM網格上的Au納米線進行測量。(c)對FusionScope所獲得的數據和TEM所獲得的數據進行相互驗證。(d)FusionScope測量Au納米線的高度為24 nm,半峰寬為51 nm。


圖5. Au納米線的等離子性能的實驗和模擬結果。(a) Au納米線在不同能量損失下的EELS模擬結果。(b)Au納米在不同能量損失下的EELS實驗結果。(c)在納米線的邊緣部分(d)中藍色區域的EELS實驗和模擬對比結果。(e)為Au納米線的中間部分(d)中綠色區域的EELS的模擬和實驗結果。


圖6. 可進行光譜調諧的等離子體3D納米結構的實驗和模擬結果。(a)在3D納米結構尖丶端部分的EELS結果,實線為實驗結果,虛線為模擬結果。(b-c)不同形貌的3D納米結構的實驗和模擬結果。(d)不同形貌的納米結構的三個顯著共振峰位置的實驗和模擬結果。

【結論】

       論文中,格拉茨技術大學相關團隊通過FEBID的方法制備了具有納米級精度的3D等離子體納米結構。在制備相關納米結構過程中,通過FusionScope系統對所制備的納米結構進行了原位的幾何結構表征,為模擬過程提供了數據支持。Quantum Design公司研發的FusionScope多功能顯微鏡,通過特殊的共坐標系統,解決了原位聯合顯微分析中不同表征方式無法共享微區的問題,又通過優化AFM和SEM工作流給用戶提供了一個清晰簡單的操作流程,為原位微區信息的獲取提供了極大的便利。此外,FusionScope還可以通過更換不同AFM探針,實現對樣品三維形貌,力學性能,電學性能和磁學性能的綜合物性表征。
 
樣機體驗:
 
       為了更好的為國內科研工作者提供專業技術支持和服務,Quantum Design中國北京樣機實驗室開放Fusionscope多功能顯微鏡樣機體驗活動,我們將為您提供樣品測試、樣機參觀等機會,歡迎各位老師垂詢!

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