電感藕合等離子體發光光譜分析（ICP）：
       高頻振蕩器發生的高頻電流，經過耦合系統連接在位于等離子體發生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氫氣流經通道。冷卻氣（Ar）通過外部及中間的通道，環繞等離子體起穩定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。工作氣體（Ar）則由中部的石英管道引入，開始工作時啟動高壓放電裝置讓工作氣體發生電離，被電離的氣體經過環繞石英管頂部的高頻感應圈時，線圈產生的巨大熱能和交變磁場，使電離氣體的電子、離子和處于基態的氖原子發生反復猛烈的碰撞，各種粒子的高速運動，導致氣體*電離形成一個類似線圈狀的等離子體炬區面，此處溫度高達6000一10000攝氏度。樣品經處理制成溶液后，由超霧化裝置變成全溶膠由底部導入管內，經軸心的石英管從噴咀噴入等離子體炬內。樣品氣溶膠進入等離子體焰時，絕大部分立即分解成激發態的原子、離子狀態。當這些激，發態的粒子回收到穩定的基態時要放出一定的能量（表現為一定波長的光譜），測定每種元素*的譜線和強度，和標準溶液相比，就可以知道樣品中所含元素的種類和含量。
電感耦合等離子質譜儀和等離子光譜儀的區別:
       電感耦合等離子體質譜法是將被測物質用電感耦合等離子體離子化后，按離子的質荷比分離，測量各種離子譜峰的強度的一種分析方法。等離子體是由自由電子、離子和中性原子或分子組成，總體上成電中性的氣體，其內部溫度高達幾千度至一萬度。樣品由霧化器霧化后由載氣攜帶從等離子體焰炬*穿過，迅速被蒸發電離并通過離子引出接口或采樣錐導入到質量分析器，樣品在*溫度下*蒸發和解離，電離的百分比高，因此幾乎對所有元素均有較高的檢測靈敏度，由于該條件下化合物分子結構已經被破壞，所以僅適用于元素分析。