F20膜厚測量系統工作原理分析
這是一種行業標準、低成本、多功能桌面涂層厚度測量系統,已安裝在全球 5,000 多個裝置中。它可用于廣泛的應用,從研究和開發到制造現場的在線測量。
F20基于光學干涉法,可以在約1秒內輕松測量透明或半透明薄膜的厚度、折射率和消光系數。
它還支持多點在線測量,并支持RS-232C和TCP/IP等外部通信,因此也可以從PLC或主機進行控制。
當入射光穿透不同物質的界面時將會有部份的光被反射,由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長光譜產生振蕩的現象。從光譜的震蕩頻率,愈多的震蕩代表較大的厚度。而其他的材料特性如折射率與粗糙度也也能同時測量。
主要特點
兼容多種薄膜厚度(1nm 至 250μm)
兼容寬波長范圍(190nm至1700nm)
強大的膜厚分析
光學常數分析(折射率/消光系數)
緊湊型外殼
支持在線測量
主要用途
平板 | 單元間隙、聚酰亞胺、ITO、AR膜、 各種光學膜等 |
---|---|
半導體 | 抗蝕劑、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等 |
光學鍍膜 | 防反射膜、硬涂層等 |
薄膜太陽能電池 | CdTe、CIGS、非晶硅等 |
砷化鋁鎵(AlGaAs)、磷化鎵(GaP)等 | |
醫療保健 | 鈍化、藥物涂層等 |
基本應用:
基本上所有光滑的、半透明或低吸收系數薄膜都可以測量。這包括幾乎所有的電介質與半導體材料,例如:
免責聲明
- 凡本網注明“來源:化工儀器網”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源(非化工儀器網)的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一周內與本網聯系,否則視為放棄相關權利。