離子濺射儀新品推薦

———天澤智能科技發(fā)展（天津）有限責任公司

TZZN-200離子濺射儀結構及濺射原理

（tzzn-200型）

整體含濺射主機和真空系統(tǒng)組成，濺射靶頭被設置成為一個二級濺射結構，通過均勻恒定的電場激發(fā)并電離氣體分子，形成穩(wěn)定的輝光放電現象，被電離的離子和電子在這個電場下進行加速，從而使靶原子逃離靶材表面在樣品上面形成納米涂層（如圖一）。

圖一

對原有產品的改進和升級改造

改造前的濺射源（靶頭）TZZN-200/100

改造后的濺射源（靶頭）TZZN-1000/CK/STX型

增加了一個恒定的磁場形成磁控約束方式，在輝光放電的過程中，帶電粒子在原來的電場加速狀態(tài)下，附加一個恒定的用磁場，利用帶電粒子的特性，從而達到約束粒子運動的方向，改變原有的運動，改善濺射源的工作效率。

外加磁場的設置方式可根據不同的需求進行改變，經過試驗天澤智能科技發(fā)展（天津）有限責任公司采取沉浸式的磁控方式，這種方式的優(yōu)勢，對于控制離子的運動和靶材的利用改善。

其他的升級和便利化設計，也都在天澤智能科技發(fā)展（天津）有限責任公司的廣大客戶幫助下進行便利化，通用化的改造升級。

如下：

1.增加的靶頭的鉸鏈結構

2. 升降樣品臺結構設計

3. 電子計時的升級

4.外觀優(yōu)化

5.增加自動放氣系統(tǒng)

6.改善密封系統(tǒng)更好的保護樣品室

  通過系統(tǒng)化的改造升級，天澤智能科技發(fā)展（天津）有限責任公司推出新型的TZZN-1000磁控離子濺射儀，并在此基礎上不斷地改進，目前相繼推出了定制的直徑達到125毫米超大濺射靶頭濺射儀，為了避免氧化反應的專用手套箱離子濺射儀等，歡迎廣大新老朋友咨詢和來樣檢測。

通過掃描電子顯微鏡圖片分析，天澤智能科技發(fā)展（天津）有限責任公司新推出的TZZN-100/1000系列，高分辨大倍率的圖像下鍍膜的均勻性可以媲美同類型的進口產品。

截止目前我公司的200型離子濺射單臺穩(wěn)定使用時間已經長達10年，新品離子濺射儀在繼承高穩(wěn)定、高可靠性的前提下，更加契合新老朋友的需求，同時也感謝多年以來對我司的支持和理解。

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