按照熱力學平衡狀態，等離子體可分為三種：完全熱力學平衡等離子體（也稱高溫等離子體，其電子溫度（Te）、離子溫度（Ti）和中性粒子溫度（Tn）一致），局部熱力學平衡等離子體（也稱熱等離子體，Te≈Ti≈Tn=3×10~3×10），以及非熱力學平衡等離子體（也稱冷等離子體，其Te≥Ti，Ti≈Tn）。 大氣壓輝光放電（Atmospheric Pressure Glow Discharge，APGD）是一個被廣泛使用的、用來描述大氣壓條件下各種氣體放電冷等離子體的總稱。在各種大氣壓非平衡放電等離子體源中，采用裸露金屬電極結構的大氣壓射頻輝光放電（Radio Frequency Atmospheric Pressure Glow Discharge，RF APGD）等離子體源是近幾年提出的一種新的大氣壓輝光放電冷等離子體源。為了從生物技術應用的角度突出這種等離子體源的特點，采用常壓室溫等離子體即ARTP來代表這種RF APGD等離子體源。