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電感耦合等離子體質譜儀是在這個行業中比較常用到的一種設備，它主要是由等離子體發生器、霧化室、矩管、四極質譜儀和一個快速通道電子倍增管等部件組成，下面我們就來詳細的介紹下電感耦合等離子體質譜儀工作原理。
電感耦合等離子體質譜儀工作原理是根據被測元素通過一定形式進入高頻等離子體中，在高溫下電離成離子，產生的離子經過離子光學透鏡聚焦后進人四極桿質譜分析器按照荷質比分離，既可以按照荷質比進行半定量分析，也可以按照特定荷質比的離子數目進行定量分析。該類型質譜儀主要由離子源、質量分析器和檢測器三部分組成，還配有數據處理系統、真空系統、供電控制系統等。
電感耦合等離子體質譜儀，它是一種將ICP技術和質譜結合在一起的分析儀器。ICP利用在電感線圈上施加的*大功率的高頻射頻信號在線圈內部形成高溫等離子體，并通過氣體的推動，保證了等離子體的平衡和持續電離，ICP起到離子源的作用，高溫的等離子體使大多數樣品中的元素都電離出一個電子而形成了一價正離子。質譜是一個質量篩選和分析器，通過選擇不同質核比（m/z）的離子通過來檢測到某個離子的強度，進而分析計算出某種元素的強度。
運行環境：
如果溫度變化太大，光學元件受溫度變化的影響就會產生譜線漂移，造成測定數據不穩定，一般室溫要求維持在70～75攝氏度間的一個固定溫度，溫度變化應小于±1攝氏度。而環境濕度過大，光學元件，光柵容易受潮損壞或性能降低。電子系統，尤其是印刷電路板及高壓電源上的元件容易受潮燒壞。濕度對高頻發生器的影響也很重要，濕度過大，輕則等離子體不容易點燃，重則高壓電源及高壓電路放電擊毀元件，如功率管隔直陶瓷電容擊穿，輸出電路阻抗匹配、網絡中的可變電容放電等，以至損壞高頻發生器。一般室內濕度應小于百分之70，應控制在百分之45～60之間，應有空氣凈化裝置。
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