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冷場發射掃描電鏡(SEM)具有超高分辨率，能做各種固態樣品表面形貌的二次電子像、反射電子象觀察及圖像處理。冷場發射掃描電鏡(SEM)利用二次電子成像原理，在鍍膜或不鍍膜的基礎上，低電壓下通過在納米尺度上觀察生物樣品如組織、細胞、微生物以及生物大分子等，獲得忠實原貌的立體感很強的樣品表面超微形貌結構信息。 具有高性能x射線能譜儀，能同時進行樣品表層的微區點線面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化學組分綜合分析能力。
冷場發射掃描電鏡的主要優勢就是分辨率高，尤其是低加速電壓下的分辨率更是遠遠超過鎢燈絲電鏡。因此更適合于進行真實的表面分析，特別是薄膜樣品。
冷場發射掃描電鏡(SEM)對樣品要求：
樣品形態：送檢樣品必須為干燥固體、塊狀、片狀、纖維狀及粉末狀均可
樣品尺寸：樣品高度小于15mm，直徑小于30mm
特殊要求：樣品應具有導電性。若樣品不導電，需要進行噴金、碳等導電膜的處理；樣品中含有鐵（Fe）、鈷(Co)、鎳(Ni)，需要在委托測試單中重點標識，進行特殊處理；樣品中不得含有水分，多孔類或易潮解的樣品，請提前真空干燥處理。
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