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過氧化氫結合低溫等離子可以生成大量活性氧自由基和負離子，直接作用于細胞膜的不飽和脂肪酸，通過氧化反應，破壞細胞膜組織，實現對細菌和真菌的殺滅。活性氧自由基也會氧化RNA和DNA，進而使其斷裂，變異，熱穩定性改變，使其失去繁殖能力，消除病原體，這種方式從根本上解決了病菌耐藥性對消殺產生的影響。
過氧化氫滅菌作為潔凈區空間滅菌的一種主要方式，已經在國外發展應用長達數十年，過氧化氫滅菌作為替代甲醛空間大環境滅菌得到了飛速發展，在實驗室、制藥企業、科研院所、醫院、動物房等領域已經逐步推廣，過氧化氫滅菌分為汽化、霧化和干霧過氧化氫滅菌，那么他們有怎樣的區別呢？
過氧化氫空間消毒方式包括以下幾種：
1、汽化過氧化氫
VHP（Vaporized Hydrogen Peroxide）n.蒸汽化的過氧化氫，而非氣化過氧化氫。是通過加熱原理，將35%濃度的過氧化氫進行蒸汽化處理，配合風機，進行傳送，是應用近50年的一項老技術。初期應用于隔離器傳遞艙，后應用于環境消毒。
大空間如無菌制劑車間等運用效果不佳，氣態過氧化氫是通過空間內的過氧化氫濃度差來擴散的，均勻性不好，腐蝕性較高，在使用過程中會出現使彩鋼板脫皮，金屬設備、監控儀器腐蝕等問題，從而導致器材損壞，因為汽化過氧化氫滅菌設備需要使用高濃度過氧化氫。且設備價格高昂，其使用范圍需為可密閉空間并且范圍較小。
2、霧化過氧化氫
霧化過氧化氫是用設備將過氧化氫液體通過粉碎噴射的手段進行霧化，達到空氣和環境消毒的作用，相較于汽化過氧化氫消毒而言其范圍增加，并且過氧化氫溶液濃度降低，有效的節省時間和成本。
3、干霧過氧化氫
上海干霧過氧化氫是在霧化過氧化氫基礎上的提升，霧化顆粒更小，擴散范圍更廣，并且過氧化氫濃度大幅度降低（5%-8%），不腐蝕設備和彩鋼板。干霧滅菌設備是利用文丘里原理，是使用告訴旋轉的文丘里泵壓縮空氣將過氧化氫溶液濺射出去，迅速將低于10微米的干霧顆粒輸送至遠端擴散至整個空間，從而實現高效滅菌。因此干霧的這些性質使得其擴散性非常好，消毒時不留死角，不濕潤表面。
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