等離子體發生器中的等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊情況下所形成的*情況和成分。典型的等離子的組成是，電子、離子、自由基和質子。這似乎是將固體轉化為氣體所需要的能量，而制造離子體也需要能量。一定數量的離子體由帶電顆粒和中性顆粒(包括原子、離子和自由顆粒)混合而成。
       

等離子體可以導電并與電磁反應。等離子體發生器形成等離子體的裝置，是在密封容器內設置兩個電極以形成電場，通過真空泵達到一定的真空度，當氣體越來越稀薄時，分子之間的間距和分子或離子的自由運動距離越來越長，它們發生碰撞形成等離子體，這時會發出輝光，因此稱為輝光放電處理。
       

等離子體發生器的形成機理包括電離反應、帶電粒子的傳輸以及電磁運動學等理論。等離子體發生器的形成與氣化過程伴隨著電子、粒子和中性粒子的碰撞反應。等離子體中粒子的碰撞會形成活性組分。由于等離子體處理的目的是改性表面或在其表面形成一層合成材料，所以整個加工過程主要關注等離子體與材料的相互作用和反應產物的生成。
       

每個等離子體發生器的工藝過程都會局限在一個多維參數的腔室中，這個腔室的大小決定了整個工藝的經濟性、反應質量、反應性能及其他參數，這些參數可以使處理過程具有競爭性和工業應用價值。空腔的操作受到諸多限制條件的限制，如處理過程受到等離子體種類和反應速度的限制，處理效率受到電能轉化為等離子體密度方式的限制，反應產量受到某些原料在加工過程中消耗的限制。
在等離子體發生器輔助制造工業中。等離子體一般具有下列用途：
1.等離子體發生器可以作為熱源；
2.等離子體發生器可以作為化學催化劑；
3.等離子體發生器可以作為高能離子流和電子流源；
4.等離子體發生器可以作為濺射粒子源；
       

在很多工藝中，隨處可見等離子體發生器的這幾種基本特性，這就逐漸形成了以等離子體為處理手段的基礎制造業。單獨的某種處理過程或幾種處理過程綜合作用可賦予等離子體不同的用途。例如，在等離子體中，利用等離子體的化學合成作用形成新的化學藥品，或利用粒子的聚合作用在表面沉積形成薄膜等。