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本品是30mm寬的小型、輕量、高性能電空減壓閥。適合半導體、精密貼裝領域的先導減壓閥的控制、各種按壓控制、微速氣缸控制。
行業
半導體制造工序（后工序）
產品特點：
【提高性能，追加產品種類】
①分辨率提高 0.1%F.S.以下 → 0.05%F.S.以下
②追加壓力種類 -100kPa（負壓）、200kPa（中壓）、900kPa（高壓）
【小型】
30×39×57.1（寬×高×長）。
小型、輕量，有助于裝置的小型化。
【高精度】
通過電氣信號，高精度、高速響應地控制流體壓力。
重復性：0.3%F.S.
分辨率：0.1%F.S.
響應時間：0.1sec（無負荷）
【動作狀態采用雙色進行顯示】
采用雙色顯示動作指示器，設定壓力時，顯示為綠色，設定以外與錯誤時，顯示為紅色。
【配管、配線作業簡單】
空氣配管：采用快插接頭，電氣配線：采用M12接頭，配管、配線作業簡單。
| 型號 | 名稱 | 壓力控制范圍(MPa) | 配管口徑(Φ） | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| EVS2-100 | PARECT 電空減壓閥 | 0.001～0.1 | 4, 6 | |
| EVS2-500 | PARECT 電空減壓閥 | 0.005～0.5MPa | 4, 6 | |
| EVS2-10V | PARECT電空減壓閥 | -0.0053～-0.0912 | 4,６ | |
| EVS2-200 | PARECT電空減壓閥 | 0.002～0.2 | 4,６ | |
| EVS2-900 | PARECT 電空減壓閥 | 0.009～0.9 | 4,６ |
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