用戶需求:控制水蒸氣的流量
選用設備:ACU20FD高精度質量流量控制器
過程描述:在蒸汽發生器內注入適量的水并維持 1-SKPa 的絕壓, 使得容器內的水氣化溫度低至35-40℃,立為了防止水蒸氣液化,流通
管道上設有伴熱50℃。通過ACU20FD質量流量控制器可將水蒸氣控制在0.2-10sccm。
方案優點:
① 通過抽真空使水容器內保持負壓(本案例為絕壓 1-5KPa) ,使得水的氣化溫度低至35-40℃,避免了在高溫條件下的流量控制 和測量,可以讓用戶有更多的產品選擇。
②ACU20FD質量流量控制器可以在精度更高、 出口壓力更小的情況下,把水蒸汽流量精確控制在0.2-10sccm 的量程范圍內。
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