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什么是利用MEMS壓力傳感器的氣密性檢測裝置？

來源：秋山科技（東莞）有限公司 2022年11月28日 16:15

什么是利用MEMS壓力傳感器的氣密性檢測裝置？

它是一種使用高性能和極小的 MEMS（微機電系統）壓力傳感器來確定壓力變化（壓差）是否存在泄漏的裝置。

（MEMS：將機械元件、傳感器、電子電路等集成在單一基板上的裝置，利用MEMS壓力傳感器的特性來測量壓力變化。）

CW設備概覽

CW的特點是通過測量被檢產品外部密封空間（測量空間）的壓力變化來判斷產品有無泄漏，如下圖所示。

待測的測量空間體積應盡可能小，以增加對壓力變化的敏感度。

為了靈活處理不同形狀的產品，測量空間采用硅橡膠并覆蓋。

MEMS壓力傳感器板

　　　*產品被硅橡膠覆蓋和密封的測量部分

　　　*真空泵

　　　*真空罐（穩壓罐）

　　　*壓力調節閥等

　　　*MEMS壓力傳感器和測量CPU

　　　*電腦及應用軟件

MEMS壓力傳感器板

　　　?通過使用硅橡膠，可以靈活適應被檢產品的形狀。

　　　　將難以檢驗的產品檢驗準確率提高*。

　　　　（小型對象產品、化學容器、食品包裝等）

　　　?適用于含有液體的檢查對象產品。您可以更改產品的方向。

　　　?壓力傳感器非常小（2mmx2mm）。設備設計自由度高。

　　　?分辨率：0.025Pa 絕對精度：±0.5hPa，相對精度±0.025hPa

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