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電暈去污是利用高速活化電暈在高溫環境下與孔壁中的物質發生反應，電暈處理機維護保養達到去膠的效果，活化孔壁，引入親水性基團，便于后續PTH沉積。低溫電暈技術越來越多地應用于剛柔結合板。低溫電暈技術的發展和應用為微電子工業的產品質量提供了有力保障，促進了其產業化應用的發展。
電暈處理機的常見問題及解決方法
1、背電暈：對于厚度較薄的薄膜(<15μm)，在速度較快的情況下，薄膜背后有可能帶入空氣;此時薄膜背面的空氣會被電離，造成背電暈。
解決方法：考慮背輥改為驅動輥，必要時同時添加壓輥;有些印刷機由此建立一個牽引單元(增加一段張力控制)。
2、薄膜幅寬方向左右處理不均勻：原因在于電極的間隙不均勻，間隙較大的一側，電暈處理不到或偏弱。
解決方法：此時要調整和校準電極與背輥的間隙，正常間隙為1.5~2.0 mm 之間，超過2.0mm ，容易造成放電不足，處理不均勻。
3、電暈處理機發生器機柜過熱，原因有可能是風扇濾網堵塞，或風扇反轉。
解決方法： 需要定期清理風扇及濾網，保證發生器機柜通風。
4、臭氧味道大：原因是排放風機風量匹配不合適，或風機反轉，管道不暢。
解決方法：臭氧風機需要與電暈系統的功率匹配;安裝時確保風機接線正確，避免反轉;另外，要定期檢查風機及管路。如果管道接入RTO系統，要保證足夠的風量，避免排放流量不夠造成倒灌。
因此，定期清理電極架對保證電暈處理機的正常工作變得非常重要，尤其是在濕度大的季節。建議每1-2周檢測并清理一次電極，金屬電極可以采用毛刷清理，陶瓷電極及高壓端子可以用布蘸酒精清理，但避免用帶侵蝕性的溶劑清洗。
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