實(shí)驗(yàn)室使用超純水的標(biāo)準(zhǔn)有哪些

來源：南京易普易達(dá)科技發(fā)展有限公司 2022年11月10日 09:46

　　超純水是電阻率達(dá)到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。

　　超純水處理，是一般工藝很難達(dá)到的程度，采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理四大步驟，多級(jí)過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，

　　純水和超純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

　　1、避免使用沒有循環(huán)回路的超純水，以減少因物料析出和細(xì)菌生長造成的污染。

　　2、持續(xù)的循環(huán)，才能保證高品質(zhì)的純水和超純水。

　　3、用來儲(chǔ)存純水的水箱應(yīng)配備無菌排氣過濾器、活性炭、二氧化碳吸附劑和潛水式紫外燈，只有使用這些組件，才能保持水質(zhì)持續(xù)在較高的水平。

　　4、合理的消毒程序可以減少生物膜的形成，應(yīng)保持良好的定期消毒的習(xí)慣。

　　5、為了防止藻類的繁殖，水箱不能為透明材料制成，或應(yīng)該防止在避光的柜子內(nèi)，避免陽光直射。

　　6、使用析出率較低的材料，如：聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)和聚四氟乙烯。當(dāng)必須要使用不銹鋼時(shí)，應(yīng)使用1.440l(304L，316L)或者更高級(jí)別。

　　7、純化模塊應(yīng)當(dāng)定期更換，以保證持續(xù)的高水質(zhì)，并盡量減少可能的細(xì)菌污染。

　　8、應(yīng)該避免純水循環(huán)中的死角和死水區(qū)域，在閑置后的每次最初啟用時(shí)，應(yīng)至少排掉0.3-3L體積的初始水，這種方法在一些關(guān)鍵應(yīng)用上尤為重要，例如HPLC,ICP/MS。

　　9、為保證純水設(shè)備的最佳運(yùn)行狀態(tài)，保證出水水質(zhì)，設(shè)備應(yīng)具有定期維護(hù)和定期服務(wù)的提示程序，或額外起草維保服務(wù)的協(xié)議。

　　10、任何純水設(shè)備的排水口都應(yīng)包含空氣閥，以防止污染。另外需要保證排水管的末端和下水道之間至少有5cm的間隙。

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