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由于熒光定硫儀使用時間較長，有時會有殘留物沉積在反應室中，導致靈敏度降低，分析結果不重復，因此用戶應根據使用情況定期清潔反應室。清洗過程如下:
1、關閉所有電源開關；
2、打開機蓋和屏蔽蓋，拔掉硫磺暗室高壓電源和信號源插頭，斷開連接管道；
3、擰開暗室底座(氣體管道的端蓋)，然后擰開反應室的壓蓋螺釘，小心地取下壓蓋、過濾器和應時；用鏡紙擦拭應時和過濾器，用干凈的軟布擦拭反應室內壁，必要時用丙酮或乙醇擦拭，然后用氧氣吹干；
4、清潔反應室后，按順序重新安裝。注意:固定過濾器和應時時，動作要平穩，緊固程度要足以保證不漏氣。小心過濾器和應時的破損。過濾器和應時的位置不應該顛倒，應時在反應室的內壁上以保護過濾器；
5、將反應室旋入暗室后，將三個連接管道連接到相應的氣路，避免漏光和漏氣。
熒光定硫儀的日常維護:
1、如果長時間使用系統，硅膠墊和氣路連接處可能會漏氣，用戶應不定期檢查整個氣路；
2、用戶應經常檢查裂解管出口端及后續氣路是否有積碳。如果裂解管出口端有積碳，可以通過通入氧氣高溫燃燒來清除。如果管道內有積碳，及時更換新管道；
3、定期檢查裂解管的使用情況。如果開裂的管壁變得發白、粗糙，說明石英管已達到使用壽命，應立即更換；
4、定期清潔熒光定硫儀的反應室；
5、定期給噴油器的導桿和傳動螺桿添加潤滑油，以減少磨損和噪音。
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