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低溫等離子滅菌器主要由電源、箱體、控制系統、真空系統、微處理器、氣路系統等構成。
低溫等離子滅菌器在低溫（60℃以下）和真空狀態下，通過高頻電場作用，使滅菌容器艙內形成均勻的等離子場，等離子體在形成過程中產生的大量紫外線，可直接破壞微生物的基因物質，紫外線固有的光解作用打破了微生物分子的化學鍵，再生成揮發性的化合物。通過等離子體的蝕刻作用，等離子中活性物質與微生物體內的蛋氫質和核酸發生化學反應，能夠摧毀微生物和擾亂微生物的生存功能。然后注入過氧化氫為滅菌劑，在滅菌艙內霧化彌漫。過氧化氫在此作用中將會有離子化分解反應，并作用于微生物之細胞，破壞其生命，進一步對微生物實施殺滅。
滅菌程序：
1、抽真空：滅菌室內壓力內由正壓至負壓；
2、注射：注入定量的過氧化氫溶液；
3、擴散：讓低溫等離子滅菌器中的過氧化氫充分汽化，均勻擴散到滅菌室內；
4、等離子態：啟動滅菌室內電磁場，使汽化的過氧化氫形成等離子態。
5、通風:過濾空氣進入，消除室內負壓。
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