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等離子發射光譜用于元素成份及微量元素定性、定量分析。為全自動式，是光譜儀的產品。具有環形結構、溫度高、電子密度高、惰性氣氛等特點，用它做激發光源具有檢出限低、線性范圍廣、電離和化學干擾少、準確度和精密度高等分析性能。ICP是用于原子發射光譜的主要光源。
從等離子體內部發出的從紅外到真空紫外波段的電磁輻射譜。它帶有量有關等離子體復雜的原子過程的信息。利用光譜學的原理和實驗技術，并借助于等離子體的理論模型，測量分析等離子體光譜，對于等離子體的研究是有重要意義的。
等離子發射光譜優點：
1.因為ICP光源具有良好的原子化、激發和電離能力，所以它具有好的檢出限。對于多數元素，其檢出限一般為0.1～100ng/L。
2.因為ICP光源具有良好的穩定性，所以它具有好的精密度，當分析物含量不是很低即明顯高于檢出*時，其RSD一般可在1%以下，好時可在0.5%以下。
3.因為ICP等離子體發射光譜受樣品基體的影響，所以參比樣品無須進行嚴格的基體匹配，同時在一般情況下亦可不用內標，也不必采用添加劑，因此它具有良好的準確度。這是ICP光譜法主要的優點。
4.ICP等離子體發射光譜具有同時或順序多元素測定能力，特別是固體成像檢測器的開發和使用及全譜直讀光譜儀的商品化更增強了它的多元素同時分析的能力。
5.由于ICP等離子體發射光譜在一般情況下無須進行基體匹配且分析校正曲線具有很寬的線性范圍，所以它操作簡便易于掌握，特別是對于液體樣品的分析。
6.ICP等離子體發射光譜的分析校正曲線具有很寬的線性范圍，在一般場合為5個數量級，好時可達6個數量級。
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