高效過濾器檢漏方法匯總（一）

1.鈉焰法

原理:鈉焰法原理是將氯化鈉水溶液噴霧、干燥形成質(zhì)量中值直徑約為0.4um的氯化鈉氣溶交作為試驗塵。在被測高效濾料的前后進行含塵空氣采樣，并引到鈉火焰光度計內(nèi)，測出與含塵濃度相關的光電流值，從而算出濾料的透過率。

測試原理:試驗塵源為單分散相氯化鈉鹽霧，“量”為含鹽霧時氫氣火焰的亮度，主要儀器為火焰光度計。鹽水在壓縮空氣的攪動下飛濺，經(jīng)干燥形成微小鹽霧并進入風道。在過濾器前后分別采樣，含鹽霧氣樣使氫氣火焰的顏色變藍、亮度增加。以火焰亮度來判斷空氣的鹽霧濃度，并以此確定過濾器對鹽霧的過濾效率。國家標準規(guī)定的鹽霧顆粒平均直徑為0.4um,但對國內(nèi)現(xiàn)有實測結(jié)果為0.5um。歐洲對實際試驗鹽霧顆粒中徑的測量結(jié)果為0.65um。隨著其他金測方法的普及，歐洲已經(jīng)不再使用鈉焰法。國內(nèi)有關部門正在修訂原來的國家標準，是廢止不是繼續(xù)使用鈉焰法，意見還沒有等到落實。

2.計數(shù)掃描法

安《潔凈室施工及驗收規(guī)范》(JGJ71-90）中規(guī)定，被檢高效過濾器必須已檢測過風量，并計風速80%-120%之間運行，對于被檢高效過濾器上風側(cè)的顆粒濃度對受控粒徑對于

≥0.5um粒子的濃度，須≥3.5×104pc/L，對受控粒徑≥0.1um的粒子濃度，須≥3.5×106-3.5×107pc/L。使用小采樣量>1L/min的粒子計數(shù)器掃描法，對高效過濾器安麥接縫和主斷面進行掃描檢測，檢測點應距被測表面20-30mm，測頭以5-20mm/s 的速度移動，對被檢過濾器整個斷面、封膠頭和安裝框架處進行掃描。在《潔凈室施工及驗收規(guī)范》中規(guī)定，由高效過濾器下風側(cè)泄漏濃度換算成的穿透率來衡量是否合格。

實際存在的問題:高效過濾器一般都在系統(tǒng)風量和各風口風量調(diào)整平衡后進行，根據(jù)規(guī)范要求各風口風量與設計的風量偏差小于15%，這滿足被檢風口在接近設計風速下進行的條件。所以當風量平衡好后要及時進行高效過濾器泄漏的檢測工作。

在工程上，對于大于100 級的凈化系統(tǒng)一般采用的粒子計數(shù)器的小粒徑通道為0.3um。所以，被檢高效過濾器在上風側(cè)的微粒濃度受控粒徑為≥0.5um，其濃度必須≥3.5×104pc/L,而一般大氣塵的濃度為5.3×104-2.5×105pc/L，這到了粒子計數(shù)器的讀數(shù)上限范圍。

在許多凈化系統(tǒng)中，進入循環(huán)空調(diào)箱的新風經(jīng)過過濾器的處理，濃度遠遠小于大氣塵濃度，和回風混和后的濃度會更低。因此，在安裝好的凈化空調(diào)系統(tǒng)中引入大氣，是值得慎重思考的問題。為了保證被檢空氣過濾器上游粒子濃度要求，而不破壞系統(tǒng)風量的平衡，在上游引入均勻濃度的人工氣溶膠是理想的手段。

引入的氣溶膠濃度到底需要多少，這其實跟安裝的高效過濾器的效率和粒子計數(shù)器的分辨率有關。粒子計數(shù)器小位是個位，小數(shù)為零。測試儀器一般都會有盲區(qū)，如果要求的下游濃度小于10顆為合格，這些數(shù)據(jù)是否有效，按照統(tǒng)計學的原理是很難保證的。

現(xiàn)在，國內(nèi)大多以美國DOP試驗對0.3um粒子的過濾效率作為高效過濾器的分類。所以采用計數(shù)掃描法檢漏時，被測粒徑應≥0.3um，這對上游濃度的要求更好。按高效過濾器的效率99.97%，下游濃度保證三個有效數(shù)字以內(nèi)，則要求上游空氣中粒徑≥0.3um 的微粒濃度至少約為6×104pc/八L。如果采用效率99.99%效率的高效過濾器，上游≥0.3um 的微粒濃度約為2×105pc/L，這時上游≥0.5um 的粒子濃度，遠遠≥3.5×104pc/L。所以，采用大氣作為塵源已經(jīng)不能滿足測試要求。

大流量的粒子計數(shù)器更適合用來檢測高效過濾器的安裝泄漏，空氣采樣量越大，測試結(jié)果就越具有代表性，準確度也就越高。規(guī)范要求的采樣量是1/min，而我們多使用的采樣量是

0.1cfm (2.83I/min)，以此滿足測試儀器的要求，但這樣會影響到檢漏的工作效率。以610×610高效過濾器為例，使用移動采樣頭在高效過濾器下側(cè)采樣時，采樣速度20mm/s,矩形100×11.33采樣器至少需要244秒;圓形采樣器的采樣速度更慢，檢漏掃描所用的時間更長。而ISO14644-3《metrology and test methods》計算掃描速率和可接受觀測計數(shù)法的計算法則對一般工程技術人員來說又比較難掌握，所以，今后國家在制定這方面的規(guī)范時，對不同級別的高效過濾器，建議采用合適的采樣速率和可接受觀測計數(shù)，方便工程測試人員實際

操作。

高效過濾器檢漏方法除上述外，還有DOP粒子掃描正壓檢漏法、油霧法、PAO法三種，在下篇蘇州宏瑞會詳細展開！

蘇州星源潔凈環(huán)境科技有限公司作為自主研發(fā)生產(chǎn)的潔凈檢測儀器廠家，已成功研發(fā)生產(chǎn)高效過濾檢漏裝置（氣溶膠發(fā)生器），并可按10萬級和100萬級潔凈車間標準要求及國家GMP規(guī)范要求為微電子、生物醫(yī)藥、醫(yī)院手術室、光纖光纜、食品飲料、精密儀器、半導體及新材料應用等行業(yè)提供全系列的檢測儀器和技術支持，如動態(tài)監(jiān)測時所需的“潔凈環(huán)境在線監(jiān)測系統(tǒng)”，靜態(tài)檢測時的“風量罩”“壓差儀”“塵埃粒子計數(shù)器”“浮游菌采樣器”等。