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1、汽化切割
汽化切割是指通過汽化材料去除加工材料。在汽化切割過程中，在聚焦激光束的作用下，工件表的溫度迅速上升到汽化溫度，材料大量汽化，形成的高壓蒸汽以超音速向外噴射。同時，在激光作用區形成孔，激光束在孔內反射多次，迅速提高材料對激光的吸收。
在高壓蒸汽高速噴射過程中，切縫中的熔融物同時從切縫中吹走，直到工件被切斷。內部汽化切割主要依靠材料的汽化，所以所需的功率密度很高，一般應達到每平方厘米10次以上。汽化切割是激光切割一些低燃材料(如木材、碳和塑料)和難熔材料(如陶瓷等)的方法。脈沖激光切割材料也常用于汽化切割。
2、熔化切割。
在激光切割機作業過程中，如果增加與激光束同軸的輔助吹氣系統，不僅取決于材料本身的蒸發，還取決于高速輔助氣流的吹氣效應，從切割縫中連續吹走熔融物。這種切割過程稱為熔化切割。
在熔化切割過程中，工件溫度不再需要加熱到汽化溫度以上，激光功率密度可以大大降低。根據材料熔化和汽化的潛熱比，熔化切割所需的激光功率僅為汽化切割方法的1/10。
3、反應熔化切割。
熔化切割。如果輔助氣流不僅吹走了切割縫中的熔融物，而且與工件發生熱反應，在切割過程中增加了另一個熱源，則稱為反應熔化切割。含氧混合物通常與工件發生反應。
當工件表面溫度達到燃點溫度時，會發生強烈的燃燒放熱反應，可以大大提高激光切割能力。燃燒放熱反應為低碳鋼和不銹鋼提供60%的能量。鈦等活性金屬燃燒能量約為90%。
因此，與激光汽化切割和一般熔化切割相比，反應熔化切割所需的激光功率密度較低，僅為汽化切割的1/20和熔化切割的1/2。但是，在反應熔化切割中，內燃反應會使材料表面發生化學變化，從而影響工件的性能。
舉例來說，鈦。接縫邊緣形成非常硬的氧化層，容易破裂，影響非常嚴重。對低碳鋼而言，除在切口表面形成薄的改性氧化層外，其它影響不大。另外，這種氧化物熔渣，流動性好。與金屬熔渣不同，基體金屬沒有附著。氧化物主要由高熔點材料組成，不誘鋼。
4、熱應力切割。
在激光束的加熱下，脆性材料的表面容易產生較大的應力，激光加熱的應力點可以整齊快速地斷裂。這種切割過程稱為激光熱應力切割。熱應力激光切割機理是激光束加熱脆性材料的某個區域，產生明顯的溫度梯度。
工件表面溫度高時膨脹，工件內層溫度低時阻礙膨脹，導致工件表面拉應力。徑向擠壓應力產生于內層。當這兩種應力超過工件本身的斷裂極限強度時。工件上會有裂紋。這種裂縫的發展。
工件沿裂紋斷開。熱應力切割速度-為m/s量級。該切割方法適用于玻璃、陶瓷等材料的切割。實驗表面熱應力切割玻璃效果好。切割速度、質量和精度都很高。切割熱應力所需的激光功率很小。高功率會導致工件表面熔化。破壞切邊質量。
5、激光劃片。
該方法主要用于半導體材料；利用高功率密度激光束在半導體構件工件表面畫淺槽，削弱半導體材料的結合力。它可以通過機械或振動斷裂。激光面碎片和熱影響區的大小來衡量激光切片的質量。
6、冷切割
近年來，紫外波段大功率準分子激光器的出現是一種新的加工方法。其基本原理:紫外光子的能量類似于許多有機材料的組合，用這種高能光子撞擊有機材料的組合鍵并破裂。從而達到切割的目的。這項新技術具有廣闊的應用前景，尤其是在電子行業。
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