背景介紹

在半導體行業，對微量溶解氧有嚴格的要求，若純水微量溶解氧超標，會造成產品污染而影響產品品質，因此需要嚴格控制溶解氧含量。半導體行業一般選用脫氣膜去除溶解氧，通過憎水纖維膜將液相和氣相分開，在氣相抽真空，使得氣體被去除，液相中的氣體就會擴散到氣相中，從而達到去除溶解性氣體的作用。

上海某電子廠純水工藝段在脫鹽后及終端分配單元前安裝了脫氣膜工藝，現場溶解氧控制指標要求小于 10ppb。

應用情況

現場安裝了 Orb410 控制器+GA2400 微量溶解氧分析儀，用于實時監測脫氣膜后的溶解氧含量，現場儀表所測得的溶解氧數據穩定準確，維持在 7~9ppb范圍內。

總結

針對客戶現場工藝控制要求，Orb410+GA2400 微量溶解氧分析儀是一個很好的選擇。GA2400 專門為微量溶解氧在線監測設計，其響應能力快速（7.2S），重現性良好，維護操作簡單，不銹鋼設計堅固耐用，適用于電子行業純水溶解氧在線監測。

溶解氧是電子行業重要的監測指標，其含量高低將直接影響終端產品品質。在正常的維護情況下，GA2400 微量溶解氧分析儀響應迅速，重現性及檢出限*現場測量需求，校準快速，維護簡單，是一款用于純水溶解氧監測的高性價比的在線儀表。