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電阻率是反映半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的重要參數(shù)之一。測(cè)量電阻率的方法很多，四探針法是一種廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法。它的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備簡(jiǎn)單、操作方便，精確度高，對(duì)樣品的形狀無嚴(yán)格要求。
四探針電阻測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備，用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）。適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，實(shí)驗(yàn)室；是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的工具。可配置不同測(cè)量裝置測(cè)試不同類型材料之電阻率。液晶顯示，溫度補(bǔ)償功能，自動(dòng)量程，自動(dòng)測(cè)量電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)。恒流源輸出；選配：PC軟件過程數(shù)據(jù)處理和標(biāo)準(zhǔn)電阻校準(zhǔn)儀器，薄膜按鍵操作簡(jiǎn)單，中文或英文兩種語言界面選擇。
四探針電阻測(cè)試儀需要注意的一些事項(xiàng)：
1、儀器操作前請(qǐng)您仔細(xì)閱讀使用說明書，規(guī)范操作
2、輕拿輕放，避免儀器震動(dòng)，水平放置，垂直測(cè)量
3、儀器不使用時(shí)請(qǐng)切斷電源，連接線無需經(jīng)常拔下，避免灰塵進(jìn)入航空插引起短接等現(xiàn)象
4、探針筆測(cè)試結(jié)束，套好護(hù)套，避免人為斷針。
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