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臭氧，是氧氣的同素異形體，在常溫下，是一種有特殊臭味的淡藍色氣體。臭氧檢測儀的檢測原理有半導體原理、電化學檢測原理、紫外光法原理等。
紫外光法就是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，就能得出臭氧濃度大小。
紫外光法就是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，就能得出臭氧濃度大小。
紫外臭氧檢測儀主要由低壓紫外燈，光波過濾器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、樣品光電傳感器、采樣光電傳感器、輸出顯示、電路部件構成。主要用于臭氧發生器出口的臭氧濃度測量，可連續在線檢測臭氧發生器出口管道中的臭氧濃度。可用于檢測各種工業環境下的臭氧氣體，也可用于檢測運行中的管道、容器等環境的臭氧氣體。主要應用于制藥、化工、市政、污水處理等行業，對臭氧發生器出口臭氧氣體濃度進行測量。
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