美國FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測量儀具有哪些特殊功能?
翹曲度,用于表述平面在空間中的彎曲程度,在數(shù)值上被定義為翹曲平面在高度方向上距離最遠(yuǎn)的兩點間的距離。絕對平面的翹曲度為0。翹曲變形是評定產(chǎn)品質(zhì)量的重要指標(biāo)之一。對于相同翹曲影響模式的同一產(chǎn)品時,這些指標(biāo)可以描述不同設(shè)計的翹曲變形的大小程度。但對于不同材料、模具結(jié)構(gòu)等造成翹曲變形的影響模式改變的因素,不同設(shè)計下各部分的翹曲變形嚴(yán)重程度也隨之改變。
美國FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測量儀具有哪些特殊功能?
1、多重導(dǎo)向銷設(shè)計,手動裝載樣品,有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研究。
2、優(yōu)異的分辨率——測量0.2um弓形高度變化超過 20M 的平鏡(大約 0.8%)
3、全3D測繪的手動旋轉(zhuǎn)平臺。
4、測量局部應(yīng)力---測量42點/mm 并大于8400點/200mm晶圓。這種測量密度獲得更好的信號噪聲比。
5、良好封閉的設(shè)計,溫度更穩(wěn)定。
6、特殊的設(shè)計使震動偏移降到較低。
7、圖形式使用界面更容易使用。
8、當(dāng)改變彈性模數(shù),晶圓或薄膜厚度設(shè)備會自動重新計算應(yīng)力保存數(shù)據(jù)文檔。
9、可以計算雙軸彈性模量和線膨脹系數(shù)。
10、可以計算應(yīng)力的均勻性。
11、可以輸出數(shù)據(jù)到Excel,提供給SPC分析。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé),不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。