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掃描電子顯微鏡(SEM) 是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來(lái)掃描樣品, 通過(guò)光束與物質(zhì)間的相互作用, 來(lái)激發(fā)各種物理信息, 對(duì)這些信息收集、放大、再成像以達(dá)到對(duì)物質(zhì)微觀形貌表征的目的。
成像原理：
掃描電鏡的成像是靠掃描作用實(shí)現(xiàn)的。掃描發(fā)生器同時(shí)控制高能電子束和熒光屏中的電子束“同步掃描”，當(dāng)電子束在樣品上進(jìn)行柵格掃描時(shí)，在熒光屏上也以相同的方式同步掃描，因此“樣品空間”上的一系列點(diǎn)就與“顯示空間”逐點(diǎn)對(duì)應(yīng)。換言之，樣品上電子束的各個(gè)位置與熒光屏上的各點(diǎn)確立了嚴(yán)格的對(duì)應(yīng)關(guān)系。樣品表面被電子束掃描，激發(fā)出各種物理信號(hào)，其強(qiáng)度與樣品的表面特征有關(guān)，這些信號(hào)通過(guò)探測(cè)器按順序、成比例地轉(zhuǎn)為視頻信號(hào)，經(jīng)過(guò)放大，用來(lái)調(diào)制熒光屏對(duì)應(yīng)點(diǎn)的電子束強(qiáng)度，即光點(diǎn)的亮度，這就形成了掃描電鏡的圖像。而圖像上強(qiáng)度的變化反映出樣品的特性。掃描電鏡成像雖然不同光鏡和透射電鏡那樣直接由物體發(fā)出的光線或電子束成像，這種成像過(guò)程如同利用信號(hào)探測(cè)器作為攝像機(jī)，對(duì)樣品表面逐點(diǎn)拍攝，把各點(diǎn)產(chǎn)生的信號(hào)轉(zhuǎn)換到熒光屏上成像。
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