博為真空箱氦檢漏回收系統設備操作規程

一、開機準備

1、檢查提供系統氣動閥門和氣缸工作的空氣源壓力是否在正常范圍內，正常范圍為0.5~0.7MPa；

2、打開氮氣瓶總閥門，并檢查氣瓶內氣體壓力是否足夠，不足則更換氣瓶；

3、檢查系統電控柜中是否所有斷路器均處在ON位置；

4、電控柜門上的負荷開關操作手柄旋至ON的位置；

5、將觸摸屏安裝板上的“鑰匙開關”由OFF旋至ON的位置，待電源指示燈點亮；

6、點擊“開機按鈕”，帶設備開機完成即開機指示燈常亮。

二、工件安裝

1、將工件安裝在工裝上；

2、安裝工件接頭，將公接頭與工件在箱外連接，連接好后，將公接頭與箱體內母接頭對接。

三、檢漏流程操作

1、按下A（B）箱開始按鈕，設備進行自動檢漏流程；

2、等待檢漏動作且箱體門打開完成以后，拆下工件的工裝接頭，更換下一個待檢測工件。

四、關機

1、A箱和B箱不工作的前提下，按下關機按鈕，待關機指示燈常亮，設備關機完成；

2、關閉氮氣罐和氦氣罐。