博為氦質譜檢漏儀維護保養方法及常見故障處理

機械泵維護

檢查機械泵油量，如低于標線則添加泵油；如泵油發黑、渾濁則更換泵油。具體操作參見機械泵說明書。 

清洗      

檢漏儀在沒有氦進入時，卻有一定漏率指示，并且長時間存在。這種情況多由于檢漏口、波紋管、密封圈等臟污后吸附了氦，在檢漏時再次釋放出來造成較大的氦本底。為避免油污、粉塵、雜物進入檢漏儀，在檢漏口下方裝有過濾器，將其拆下用酒精浸泡清洗。檢漏口、波紋管用棉布擦拭即可。 

常見故障及處理 

以下是常見的故障現象、故障原因及處理方法 ：

不通電： 

1.電源線接插不良。 

2.保險管熔斷。 

3.重新接插電源線。 

4.更換相同規格保險管。 

機械泵聲音大，并且排氣口冒煙：

1.機械泵處于空抽狀態。 

2.檢查檢漏口、波紋管、被檢件是否密封良好，重新安裝波紋管、被檢件。

氦本底高：

1.被檢件密封不好，造成檢漏口入口壓強大，質譜室真空低。 

2.被檢件中的氦氣短時間內難以清除。

3.重新密封被檢件。  

4.使用調零功能進行檢漏。 

儲存     

檢漏儀長期不使用時，用盲板將檢漏口、機械泵排氣口封上，觸摸屏用棉布或者硬紙板遮擋，標準漏孔、氣袋噴槍、相關配件裝入包裝盒，存放到陰涼、通風、沒有漏雨、火災等危險的房間。 

如想了解更多關于氦質譜檢漏儀相關知識，請咨詢博為氦檢。