應用需求

? 設備材料，包括金屬（例如Ti，Co-Cr）和聚合物（例如UHMWPE，PEEK），必須進行適當的清潔，準備和紋理化處理（微觀和/或宏觀），以促進廣泛涂層的牢固粘合

? 在許多應用中，單層表面涂層對于在最少使用涂料的情況下獲得高度可控的薄膜至關重要。這樣的涂層可用于改變表面疏水性或可用作附加涂層的附著的基礎，以實現更復雜的多層涂層或用于生物分子例如生物活性肽的附著。

? 保形的單層涂層應用，例如 通過嚴格的熱控制，使羥磷灰石（HA）保持z佳結晶度

行業

YES（Yield Engineering Systems）已成功部署了我們的VertaCure，EcoClean和EcoCoat系統以及相關技術，可為基因組學和生物技術領域的客戶，靈先的研究機構以及行業頂jian的技術孵化器提供高效的解決方案。應用包括制造DNA和蛋白質微陣列以及微流體設備，這些設備需要修飾表面疏水性以及功能性生物分子的 均勻且穩定的附著。下一代測序儀器依賴于精密制造的流通池，該流通池包含數百萬個微尺度位置，可作為DNA平行測序的點。此類流通池必須經過精密涂覆，才能實現DNA引物的穩定定位，或者必須能夠對生物傳感器附近的納米孔結構進行精確定位。 YES的基因組學行業客戶已成功地將我們基于等離子體的表面清潔和化學氣相沉積（CVD）驅動的表面涂層技術應用于嚴格質量標準下的大批量測序流動池制造中。YES儀器和相關的工藝流程相結合，可實現高質量的設備表面改性，同時zui大程度地降低用于提供出色設備性能的化學鍍層成本。

YES產品

YES工程師是受控表面改性的專家，可為多個最終市場提供有效的制造解決方案，包括硅微處理器的制造，基因組測序和微流體流通池設備，醫療設備和生物傳感器以及其他高級表面涂層應用。 YES的解決方案提供了*的功能，可在微米和納米級上修飾表面，與其他涂層技術相比，具有較低的擁有成本，較小的占地面積和改善的環境影響。 提供可擴展的解決方案，以便可以將流程從臺式設備無縫轉移到大容量單元和支持自動加載的單元，以進行大批量制造（HVM）。

EcoCoat系統：用于化學氣相沉積，具有出色的重復性和精度。

? 精確的溫度控制（波動性<1％）可在整個腔室，涂層燒瓶和蒸汽管線中實現熱均勻性。 這樣可將接觸角均勻性提高2倍

? 涂層在層流下真空沉積，從而產生較溫和的操作條件，減少了污染顆粒的產生，并改善了表面性能（低應    力，低翹曲和低脫氣）

? 專有技術控制液體注入的數量和速度，以及溫度控制和真空度，從而使涂層單層獲得高質量的附著力

? YES過程比競爭產品快約3倍，擁有成本比競爭產品低2倍

? YES擁有沉積100多種前體的經驗，包括烷基，氨基，環氧和氟化硅烷衍生物

EcoClean系統：通過溫和的分子水平清潔，自動的血漿剝離/除渣溶液系統。

? 獲得專LI的ICP等離子體源和分配單元可產生緊密耦合到基板的高密度等離子體。 專有的水冷卻技術可帶來溫和的清潔效果，并提高了一致性，可提供兩倍的剝離速度，而無缺陷/損壞（10μm/ min，控制范圍低至100?/ min）。

? 專有設計只有3個活動部件，因此具有很高的可靠性（正常運行時間> 95％）并降低了維護要求。 占?50％的同類產品。

? 非常靈活的系統，經證明具有受控的氧，氫和氟種類。

VertaCure固化系統：基于真空的低溫聚合物固化

? 專有的泵和吹掃循環以及雙O形圈確保將低氧本底保持在10 ppm以下。 專有設計采用主動加熱和冷卻功能，以實現可變的斜升和斜降。