隨著科技的發展自動化技術的進步,在工業設備中我們常見的壓力傳感器除了液柱式壓力計、彈性式壓力表外,目前更多的是采用可將壓力轉換成電信號的壓力變送器和傳感器。壓力傳感器是將壓力轉換為電信號輸出的傳感器。通常傳感器由兩部分組成,即分別是敏感元件和轉換元件。其中敏感元件是指傳感器中能夠直接感受或響應被測量的部分;轉換元件是指傳感器中將敏感元件感受或響應的被測量的應變轉換成適于傳輸或測量的電信號部分。由于傳感器的輸出信號一般很微弱,需要將其調制與放大。集成技術的發展,促使人們又將這部分電路及電源等電路也一起裝在傳感器內部。
這樣,傳感器就可以輸出便于處理,傳輸的可用信號了。在技術相對落后的階段,所謂的傳感器是指上文中的敏感元件,而變送器就是上文中的轉換元件。壓力傳感器一般是指將變化的壓力信號轉換成對應變化的電阻信號或電容信號的敏感元件,如:壓阻元件,壓容元件等。同時壓力傳感器的種類繁多,如電阻應變片壓力傳感器、半導體應變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器等。目前應用較為廣泛的壓力傳感器有:陶瓷壓阻壓力傳感器、濺射薄膜壓力傳感器、電容壓力傳感器、耐高溫特性的藍寶石壓力傳感器。但應用最wei廣泛的是壓阻式壓力傳感器,它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性。
應變式壓力傳感器主要是利用彈性敏感元件和應變計將被測壓力轉換為相應電阻值變化的壓力傳感器。
按照彈性敏感元件結構的不同,應變式壓力傳感器大致可分為應變管式、膜片式、應變梁式和組合式4種。下面分別就4種應變式壓力傳感器分別作介紹。
應變式壓力傳感器分類
1、應變管式
又稱應變筒式。它的彈性敏感元件為一端封閉的薄壁圓筒,其另一端帶有法蘭與被測系統連接。在筒壁上貼有2片或4片應變片,其中一半貼在實心部分作為溫度補償片,另一半作為測量應變片。當沒有壓力時 4片應變片組成平衡的全橋式電路;當壓力作用于內腔時,圓筒變形成“腰鼓形”,使電橋失去平衡,輸出與壓力成一定關系的電壓。這種傳感器還可以利用活塞將被測壓力轉換為力傳遞到應變筒上或通過垂鏈形狀的膜片傳遞被測壓力。應變管式壓力傳感器的結構簡單、制造方便、適用性強,在火箭彈、炮彈和火炮的動態壓力測量方面有廣泛應用。
2、膜片式
它的彈性敏感元件為周邊固定圓形金屬平膜片。膜片受壓力變形時,中心處徑向應變和切向應變均達到正的最大值,而邊緣處徑向應變達到負的最大值,切向應變為零。因此常把兩個應變片分別貼在正負最大應變處,并接成相鄰橋臂的半橋電路以獲得較大靈敏度和溫度補償作用。采用圓形箔式應變計(見電阻應變計)則能最大限度地利用膜片的應變效果。這種傳感器的非線性較顯著。膜片式壓力傳感器的最xin產品是將彈性敏感元件和應變片的作用集于單晶硅膜片一身,即采用集成電路工藝在單晶硅膜片上擴散制作電阻條,并采用周邊固定結構制成的固態壓力傳感器(見壓阻式傳感器)。
3、應變梁式
測量較小壓力時,可采用固定梁或等強度梁的結構。一種方法是用膜片把壓力轉換為力再通過傳力桿傳遞給應變梁。將兩端固定梁的最大應變處在梁的兩端和中點,應變片就貼在這些地方。這種結構還有其他形式,例如可采用懸梁與膜片或波紋管構成。
4、組合式
在組合式應變壓力傳感器中,彈性敏感元件可分為感受元件和彈性應變元件。感受元件把壓力轉換為力傳遞到彈性應變元件應變最敏感的部位,而應變片則貼在彈性應變元件的最大應變處。實際上較復雜的應變管式和應變梁式都屬于這種型式。
感受元件有膜片、膜盒、波紋管、波登管等,彈性應變元件有懸臂梁、固定梁、Π形梁、 環形梁、薄壁筒等。它們之間可根據不同需要組合成多種型式。
(來源:網絡,版權歸原作者)
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