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三坐標測量儀在檢測時，是由探頭接觸被測工件后發出信號，再由控制系統和計算機把測頭此時的坐標位置采集下來。然而，三坐標測量儀探頭種類繁多，不同的探頭對應著不同的功能，因此我們想得到準確的測量結果，必須要根據工件的實際情況去選擇探頭。
我們可以把三坐標測量儀探頭分為非接觸式與接觸式兩種，其中接觸式探頭又可區分成機械式和電氣式兩種，而電氣式又可區分成觸發式探頭與掃瞄式探頭之分。接觸式探頭還可區分成硬式探頭、觸發式探頭及模擬式探頭等三種。
一、非接觸式探頭
非接觸式探頭有中心顯微鏡、中心投影器、影像視訊屏幕和激光掃瞄等方式，可應用在小型零件形狀測量、無法使用機械式探頭測量的柔軟工件等。三坐標測量機的測軸裝置影像視訊屏幕，提供放大倍率為20倍，只要在影像區內不需移動工件或探頭立即可測量工件各部位尺寸。激光掃瞄探頭，是一種最進步的測量系統，可借著激光光來進行連續的非接觸測量動作，同時消除接觸式探頭虛擬點加載以作為探頭半徑的補正工作。
二、機械式探頭
機械式探頭的型式種類繁多，包括球形、錐形、圓柱形及萬能形等。球形探頭其探針端擁有一個碳化物材料制成，直徑為2~10 mm的圓球。圓錐形為決定孔的中心位置，或兩孔間中心距離的測量，使用前需注意孔與探頭平行，即工件先作水平調整，然后再進行測量工作。
三、掃瞄式探頭
三維 (3D) 掃瞄探頭本身是一種小型三坐標測量機，它是由三個相同的彈性平行四邊形構成，三個軸方向可有±3mm的偏移范圍。每軸都有感應式線性測量系統作為位置測量。三個個別導軌可以各自用精密的機械鎖緊且其測量系統相對機械零點的重現性小于0.1µm。測量力是應用插入式線圈感應產生器所產生轉換至各探頭的固定器上。自動重量平衡機構可作因探頭沖擊而偏位的補償。當電子定位控制在探頭與工件接觸就自動起作用。探測軸上導軌滑行，直到探頭中的感應系統已經靜止在其零點位置，此時機械坐標值才會被自動送到計算機。掃瞄式探頭其前端與觸發式探頭相同，因此它兼具有動態掃瞄和靜態觸發的功能。
四、觸發式探頭
觸發式探頭無論在任何位置及方向，只要其探針偏離原來的中心位置至某一程度時，立即會產生一個檢測信號，探頭內部的構造，中間有彈簧為調整固定探針的板塊松緊和探針的靈敏度，每隔120°有一組由一支圓銷或二個圓球組成的串聯電路。當探針觸及工件時，任何一組圓銷和圓球間，在其接觸點有間隙時即形成斷電，此時即發生觸發信號，使處理器計數其三軸的位置再送給計算機。觸發式探頭若使用于工件不同方向的測量，可用有五個方向的探頭稱為五星探頭。
一個合適的三坐標測量機探頭，不僅能為您提供準確的測量結果，還能給您節省時間，提高工作效率。
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