手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
半導體晶圓由于需經過各種不同流程的處理且需配合工藝設備，因此會被搬運到不同的工作站。為了方便晶圓的搬運且避免受到外力碰撞，會將多個晶圓收納于晶圓暫存卡匣中。
一般來說，晶圓暫存卡匣內設置有逐層排列的多個插槽可水平容置多個晶圓，且其一側面具有一開口可供晶圓的載出及載入。再者，于開口處亦設置有可防止晶圓于搬運時滑出的止擋構件。然而，當將存放晶圓的晶圓暫存卡匣搬運至下一工作站時，作業人員常會忘記解除止擋構件對晶圓的限位，而導致機械手臂強行從開口將晶圓取出，造成晶圓撞擊止擋構件而破裂及損壞。此外，晶圓暫存卡匣的插槽間距大于晶圓厚度，且晶圓暫存卡匣的容置空間會大于晶圓面積，因此晶圓于搬運過程中仍會在晶圓暫存卡匣內晃動，而與晶圓暫存卡匣相互碰撞，此也會造成晶圓的破裂及損壞。因此，如何有效降低作業人員誤動作的機會及降低搬運過程中晶圓暫存卡匣與晶圓間相互碰撞的機率是業界亟欲解決的課題之一。
現在針對全自動晶圓搬送機的卡匣放置需要一個穩定且快捷安裝的卡匣裝置來配合。
為解決上述技術問題，本實用新型所采用的技術方案是：一種晶圓搬送機的晶圓卡匣裝置，其特征在于：所述晶圓卡匣裝置包括用于放置晶圓的卡匣載臺、用于控制卡匣載臺升降的升降軸傳動裝置和用于安裝升降軸傳動裝置的升降軸固定座。
AL120晶圓搬送安全且符合人體工程學的設計確保了操作人員在搬送晶圓時(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。
AL120晶圓搬送對應可使用FOUP(裝載口)和FOSB，適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學的設計確保了操作人員在搬送晶圓時(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。人機工程學設計，操作方便。
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
采購中心