電子顯微鏡簡述：

1、發展歷史：

  掃描電子顯微鏡（SEM）于1935年起源于Max Knoll。該設計在接下來的幾年中由Manfred von Ardenne進一步開發。 盡管有這些早期的貢獻，查爾斯·奧特利教授還是*為掃描電子顯微鏡之父。 在1950年代和1960年代，劍橋大學的Oatley教授開發并完善了這項技術，使其成為可商業化的儀器。

SEM在色譜柱的頂部裝有電子槍，該電子槍以熱電子方式產生電子束。當該光束沿色譜柱向下傳播時，線圈將作為透鏡進行調節，這些透鏡會聚焦光束并使光束在真空室中的樣品上形成光柵。 當電子束掃描樣品時，二次電子從樣品中發射出來。 腔室內的探測器收集這些電子以產生樣品圖像。

與光學顯微鏡不同，SEM不受可見光衍射極限的限制。這使研究人員能夠以數十萬倍的倍率成像。 該技術還保持了*的景深，使用戶可以清楚地分辨出樣品的表面特征。

除了主要優點外，掃描電子顯微鏡還被證明是一種通用平臺，可增加簡單成像以外的功能。 可以用場發射槍（FEG）替代或補充熱電子槍，這樣可以大幅提高SEM的空間分辨率。 SEM可以配備聚焦離子束（FIB）功能，從而進行離子束研磨和沉積。 能量色散X射線光譜儀（EDS或EDX）允許用戶使用電子束撞擊樣品時產生的X射線分析樣品的化學成分。 通過在腔室添加探針，用戶可以分析樣品的導電率。 SEM平臺也可以裝配用于光刻和微加工應用。

2、典型應用：

•數據存儲

•能源研究

•故障分析

•材料科學

•醫療器械

•采礦與地質學

•藥物研究

•半導體研究

電子顯微鏡的環境控制：

電子顯微鏡（比如SEM）用于以超高放大倍數觀察極小的特征尺寸，容易受到環境干擾的影響。SEM是相對大型的儀器，通常具有內置被動振動隔離機制。雖然它們對高頻振動相對不敏感，但是SEM仍然容易受到低頻振動的影響，尤其是建筑物的振動。SEM制造商制定了儀器正常運行的大可接受振動、電磁干擾和聲音噪聲標準。每個儀器相關的安裝要求文件中都包含了這些標準。SEM制造商在安裝前通常需要對振動測量設備進行現場勘測以確認安裝現場是否符合規范，如不符合，客戶則需要簽署豁免書，表明儀器可能無法達到性能。因此，為了獲得準確的圖像數據，將SEM放置在建筑物較高樓層或地震振動級別明顯的區域時，通常需要輔助隔振系統。而主動振動控制系統可以說是這種情況下的解決方案。

此外，由于成像技術利用了電磁力電子，顯微鏡對EMI也很敏感。所以在安裝時，應注意不要將SEM放在靠近大量EMI來源的地方，例如移動車輛、電梯或HVAC機械。否則，如果存在過多的EMI時，用戶將需要在SEM周圍安裝EMI消除系統或者構建一個大型EMI屏蔽層。

電子顯微鏡的高級解決方案：

電子顯微鏡將樣本圖像放大一百萬X倍以上需要的數據質量和的環境穩定性。 二十多年來，環境穩定性一直是Herzan的專長領域，為無數應用（尤其是電子顯微鏡）提供了振動、聲學和EMI隔離解決方案。其產品涵蓋了電子顯微鏡適用的所有形式的環境隔離系統。一直以來，Herzan希望與研究人員合作，促進數據采集發展。

1、解決方案：模塊化/面板式隔音箱 （問題：聲學噪音）

Herzan精心闡述了每個電子顯微鏡隔音箱的設計，以代表每種應用的具體需求。 結合每種實驗室環境*的可訪問性和形狀適應性，Herzan的模塊化和面板式隔音箱為用戶提供物超所值的解決方案。

2、解決方案：AVI系列 （問題：振動噪音）

AVI系列是一款低調，模塊化，主動隔振系統，能夠在所有六個自由度上實現亞赫茲振動隔離。 AVI系列能夠提供一致且可靠的亞赫茲振動隔離性能，是在環境中遭遇低頻振動噪聲的所有電子顯微鏡的理想解決方案。

3、解決方案：Spicer系統 （問題：EMI噪音）

Spicer磁場消除系統可為高分辨率電子顯微鏡提供經濟高效，免維護的環境磁場屏蔽。 Spicer系統為交流和直流電場提供了消除效果，可在較寬的頻率范圍內顯著降低EMI。

4、其他解決方案：

•現場調查分析設備

•電子顯微鏡起重設備

•假底平臺

•AVI系列的低頻隔振升級（LFS系統）

SEM圖像對比圖：