日本*SMC深冷器高性能變頻型HRZ系列
SMC深冷器高性能型HRZ系列
溫度穩定性高、溫度范圍大、有故障診斷、外部通信等功能，廣泛用于半導體行業。
符合各種安全規格。
符合UL, SEMI規格以及CE標識。
設定溫度范圍：－20～40℃、20～90℃、－20～90℃
冷卻能力：1kW, 2kW、4kW, 8kW
溫度穩定性：±0.1℃。
冷卻方式：水冷冷凍式 
循環液：氟化液、清水、脫離子水（純水）、乙二醇水溶液（60％）

SMC深冷器高性能變頻型HRZ系列
在HRZ系列的高性能基礎上，采用了DC變頻壓縮機，實現了節能。
溫度范圍和冷卻能力范圍大。
用于刷新循環塊的半導體裝置等，可平緩地對應過程條件的變化。
符合UL, SEMI規格及CE標識。
設定溫度范圍：－20～90℃ 、 10～60℃
冷卻能力：10kW
溫度穩定性：±0.1℃。
冷卻方式：水冷冷凍式 
循環液：氟化液、清水、脫離子水（純水）、乙二醇水溶液（60％）

型號：
HRZ001-L
HRZ002-L
HRZ004-L
HRZ008-L
HRZ001-H
HRZ002-H
HRZ004-H
HRZ008-H
HRZ002-W
HRZ008-W
HRZ010-WS
HRZ010-W1S
HRZ010-W2S
HRR012-A
HRR018-A
HRR024-A
HRR030-A
HRR012-W
HRR018-W
HRR024-W
HRR030-W
HRZD020-WS-WS 
HRL100-A-20
HRL200-A-20
HRL300-A-20
HRW002-H
HRW008-H
HRW015-H
HRW030-H