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1200℃管式真空加熱爐

來源:河南宏爐儀器設備有限公司   2020年06月07日 11:30  

1200℃管式真空加熱爐產品概述:

         1200℃管式真空加熱爐采用輕質陶瓷纖維精制爐膛,由兩個半圓形爐體合成,開啟方便,專門設計用于對物料需要預抽真空條件下進行燒結;加熱元件采用含鉬合金加熱絲,加熱速率快,耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、升溫快;智能PID30段控溫,控溫精度高;真空密封法蘭,真空法蘭和石英爐管的氣密性可達4.03×10-3Pa。

適用范圍:

       1200℃管式真空加熱爐主要應用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室,應用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。

工作溫度

1100℃

溫度

1200℃(可選1700℃)

溫區(qū)長度

300mm(可根據需求定制)

恒溫區(qū)

180mm

爐管尺寸

Φ50*1000mm

溫控方式

30段PID微電腦可編程自動控制

控溫精度

± 1℃

溫控保護

具有超溫及斷偶報警功能

加熱速率

0~20 ℃ / 分

加熱元件

高電阻電熱合金絲

工作電壓

AC 220V 單項 50 Hz

功率

2KW

爐膛材料

采用多晶陶瓷纖維,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強

法蘭接頭

標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥

密封系統(tǒng)

該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好、可保證12小時壓力表指針不偏轉

真空度

雙極旋片機械泵:10^-2 torr
分子泵機組:10^-5 torr

泄漏率<5 mtorr / min

供氣系統(tǒng)

該爐配有浮子流量計,客戶可通過浮子流量計或質子流量計控制氣體的流速

爐管材質

氣煉石英管

氣 密 性

4.03×10-3Pa

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