專業(yè)表面輪廓測量儀是用于表面結構測量和表面形貌分析的一款測量計量型設備。既可以
用于科學研究,也可以用于工業(yè)產品的檢測。
1、三維表面結構:粗糙度,波紋度,表面結構,缺陷分析,晶粒分析等
2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖, 輪廓線等
3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量
5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量
6、微電子表面分析和MEMS表征
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