被測元素的原子在高溫等離子體中受激而產生光輻射，經過光譜儀衍射光柵的分光可得到樣品中元素的譜線, 由譜線的波長和強度進行定性及定量。

根據元素所產生的原子蒸汽對同種元素所發射的特征譜線的吸收作用進行分析，譜線的強度進行定量。

ICP作為質譜的高溫離子源，樣品在通道中進行蒸發、解離、原子化、電離等過程。離子通過樣品錐接口和離子傳輸系統進入高真空的MS 部分，通過高速順序掃描分離測定所有離子，并通過高速雙通道分離后的離子進行檢測。

用微波等離子體(MPT)焰炬作為激發光源。由于焰炬溫度高且具有中央通道，由載氣引入該通道的待測液體試樣經脫溶劑、熔融、蒸發、解離等過程，形成氣態原子，各組成原子再吸收能量后發生激發，躍遷到激發態，處于激發態上的原子不穩定，以發射特征輻射(譜線)的形式重新釋放能量后回到基態。根據各元素氣態原子所發射的特征輻射的波長和強度進行定性和定量分析。

其是用一種已知濃度的試劑溶液加到被測物質的溶液中，直到化學反應*時為止，然后根據試劑的用量和濃度求得被測元素的含量。如SH/T 0309 含添加劑潤滑油的鈣、鋇、鋅含量測定法(絡合滴定法)。

基于比較有色物質顏色深淺以確定含量的方法。如SH/T0296 添加劑和含添加劑潤滑油的磷含量測定法，方法概要：在高溫下，用氧化鋅作捕獲劑，使試樣中的磷生成五氧化二磷，留在氧化鋅中。然后用硝酸將氧化鋅溶解，使五氧化二磷轉變成磷酸根。在一定酸度范圍內磷酸根與釩酸銨-鉬酸銨形成穩定的黃色絡合物，在波長460 nm 處比色。

基于電弧的高溫使樣品中各元素直接氣化并激發，而發射出各元素的特征波長，用光柵分光后，成為按波長排列的“光譜”，通過光電倍增管、檢測器，得出元素的含量。主要測潤滑油、傳動液及燃料油中磨損金屬、污染物及添加劑的含量。