Meriam流量計(jì)/ 層流元件(LFE)
Meriam 層流元件(LFE)非常適合測(cè)量從0.2SCCM到2250 SCFM的低氣體流量。
準(zhǔn)確且可重復(fù),并且可以追溯到美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院。
流量調(diào)節(jié)比為20:1或更高,并且產(chǎn)生的壓差與流量幾乎呈線性關(guān)系。
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