納米加工是在納米尺度下進行設備的設計與制造。如果您需要加工納米級的結構，使用離子或電子等帶電粒子將是您的*。 離子或電子束與樣品表面之間的相互作用可以用于表面結構或表面特性的操控。不同的氣體組合使用，能夠控制復雜的流程，如進行材料刻蝕或材料沉積。這樣便可以創建具有復雜的機械、電子、光學、磁性或流體功能的新材料和系統。
納米加工、圖案和光刻
現今與未來的應用需要材料具備更佳的電子、磁性、光學和機械特性。大部分的這類需要 100nm 以下的結構和組份來定義。蔡司是能夠提供從毫米到納米范圍結構加工解決方案的供應商。 您還可以使用 ORION NanoFab 多離子顯微鏡加工具有高深寬比的亞 10 nm 結構。這一技術的優勢在于氦和氖離子束光刻不會產生任何鄰近效應，從而獲得均一的嵌套圖案，且無需進行劑量調整。
納米光子學、等離子學和超材料
超材料是一種人造材料，通過改變表面結構來修改其光磁特性。光子晶體結構可以提高光學器件的性能，這一點對透射光和光學測量的所有產品非常有用。 FIB 圖案解決方案是建立這種結構的高性能工具。而 ORION NanoFab 則是加工等離子結構的良好儀器，該結構可在光學頻率或更高頻率范圍內呈現出表面或局部等離子效應。
石墨烯研究
石墨烯是很有前景的新型材料。如果將其加工成特定形狀，您就能夠調節其某些特性，比如帶隙。石墨烯是一種非常易碎的材料，因為它只有單個原子的厚度，所以需要非常精細的加工。憑借 ORION NanoFab 精細且的加工能力，您可以加工亞 10 nm 級的復雜石墨烯設備。
納米顆粒
納米顆粒在催化劑領域或現代納米材料應用領域至關重要。您希望以納米乃至亞納米級尺度表征大小、形狀、化學組份及分布，當然也需要檢測納米顆粒中小顆粒的重要特性。 ATLAS 3D 軟件能以較高分辨率進行大面積樣品采集，從而讓您可在聚合物基質中查找特定納米顆粒并對其進行分析。